[發(fā)明專利]高精密集成電路離心清洗設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810843399.8 | 申請日： | 2018-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN108940996A | 公開（公告）日： | 2018-12-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 黃紹炎;張彥平;曾志家;廖許勝 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市凱爾迪光電科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02;F26B21/00;F26B21/12;F26B25/00;B08B3/12 |
| 代理公司： | 深圳市精英專利事務(wù)所 44242 | 代理人： | 馮筠 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市光明新區(qū)公明辦事處田*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 發(fā)熱管 清洗 離心轉(zhuǎn)軸 噴嘴 進氣管 進水管 室內(nèi) 離心清洗設(shè)備 清洗液箱 高精密 夾緊件 清洗管 伸入 集成電路 壓縮空氣連接 出口連接 偏心運動 清洗效果 偏心軸 清洗室 清洗液 夾緊 連通 轉(zhuǎn)動 電機 外部 進口 | ||
1.一種高精密集成電路離心清洗設(shè)備，其特征在于，包括清洗室，清洗液箱，噴嘴，第一發(fā)熱管，第二發(fā)熱管，清洗管，離心轉(zhuǎn)軸，帶動離心轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動的電機，第一進氣管和第一進水管；所述清洗室內(nèi)設(shè)有夾緊待洗元件的夾緊件，所述夾緊件與離心轉(zhuǎn)軸固定連接，第一進水管的一端與第二發(fā)熱管連接，另一端與噴嘴連接，所述噴嘴伸入清洗室內(nèi)；第一進氣管的一端與第一發(fā)熱管的出口連接，另一端與第一進水管的中部連通，所述第一發(fā)熱管的進口通過設(shè)有的第二進氣管與外部壓縮空氣連接；所述清洗室的底部設(shè)有排液管，所述清洗室的頂部設(shè)有排氣管，所述清洗管的一端與清洗液箱連接，另一端伸入清洗室內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精密集成電路離心清洗設(shè)備，其特征在于，所述清洗室內(nèi)設(shè)有超聲波震板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精密集成電路離心清洗設(shè)備，其特征在于，所述高精密集成電路離心清洗設(shè)備還包括漂洗箱，所述漂洗箱的出液口通過設(shè)有的第二進水管與第二發(fā)熱管連接，所述漂洗箱內(nèi)設(shè)有第三發(fā)熱管。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高精密集成電路離心清洗設(shè)備，其特征在于，所述高精密集成電路離心清洗設(shè)備還包括DI水箱和原液箱體，所述DI水箱和原液箱體的出液口分別與清洗液箱連接，所述第二進水管通過第三進水管與DI水箱連接，所述第二進氣管通過第三進氣管與清洗液箱連接，且第三進氣管伸入清洗液箱的底部，所述清洗液箱內(nèi)設(shè)有第四發(fā)熱管。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精密集成電路離心清洗設(shè)備，其特征在于，所述清洗管從清洗液箱端至清洗室端依次設(shè)有臥式泵浦，過濾器和氣動閥，所述過濾器連接有常閉閥，所述臥式泵浦和過濾器之間連接有常開閥，所述常開閥連接有氣動隔膜泵。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高精密集成電路離心清洗設(shè)備，其特征在于，所述第三進氣管內(nèi)設(shè)有電磁閥和調(diào)速閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高精密集成電路離心清洗設(shè)備，其特征在于，所述第一進氣管內(nèi)設(shè)有氣動閥和針閥，所述氣動閥和針閥之間設(shè)有熱電偶。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于深圳市凱爾迪光電科技有限公司，未經(jīng)深圳市凱爾迪光電科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810843399.8/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
