[發明專利]一種新型氣體流量和濃度測量儀在審
| 申請號： | 201810836072.8 | 申請日： | 2018-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN108593027A | 公開（公告）日： | 2018-09-28 |
| 發明（設計）人： | 廖進昆;張大印;關元生;蔡淇智;王俊 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01F1/66 | 分類號： | G01F1/66;G01N21/31 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230 | 代理人： | 謝建 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 反射棱鏡 聚焦透鏡 透鏡 光子探測器 濃度測量儀 干涉條紋 激光準直 氣體管道 新型氣體 激光器 分光鏡 光路 傳遞 有效降低成本 垂直穿過 濃度檢測 氣體分子 氣體流量 散射光 檢測 折轉 平行 測量 探測 聚焦 主線 保證 | ||
1.一種新型氣體流量和濃度測量儀，其特征在于，包括激光器(1)、激光準直透鏡(2)、分光鏡(3)、第一反射棱鏡(4)、第二反射棱鏡(5)、第三反射棱鏡(6)、第一聚焦透鏡(7)、氣體管道(8)、第二聚焦透鏡(13)、光子探測器(14)；
所述激光器(1)發出的光路主線經激光準直透鏡(2)傳遞到分光鏡(3)后，一部分傳遞至第三反射棱鏡(6)，另一部分依次傳遞至第一反射棱鏡(4)和第二反射棱鏡(5)，從第三反射棱鏡(6)和第二反射棱鏡(5)出來的光路相互平行，經第一聚焦透鏡(7)折轉后進入氣體管道(8)，并在氣體管道(8)內形成干涉條紋區(11)，氣體分子(10)垂直穿過干涉條紋區(11)形成的散射光經第二聚焦透鏡(13)聚焦，并由光子探測器(14)探測。
2.根據權利要求1所述的一種新型氣體流量和濃度測量儀，其特征在于，所述第二反射棱鏡(5)和第三反射棱鏡(6)到光路主線的垂直距離相等。
3.根據權利要求1所述的一種新型氣體流量和濃度測量儀，其特征在于，所述氣體管道(8)設有用于光路進入的第一透光窗口(9)和用于光路出射的第二透光窗口(12)。
4.根據權利要求1所述的一種新型氣體流量和濃度測量儀，其特征在于，所述第二聚焦透鏡(13)的焦點位于干涉條紋區(11)。
5.根據權利要求1所述的一種新型氣體流量和濃度測量儀，其特征在于，所述分光鏡(3)由兩塊45°直角三棱鏡拼合而成。
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