[發明專利]雙裝載部的雙面曝光機及雙面曝光方法

有效

• 申請號: 201810836043.1
• 申請日: 2018-07-26
• 公開（公告）號: CN108873622B
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 汪孝軍;廖平強;張勝
• 申請（專利權）人: 中山新諾科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 劉培培

1.一種雙裝載部的雙面曝光機，其特征在于，包括：

工作臺，所述工作臺設有曝光通孔；

曝光機構，所述曝光機構包括第一曝光組件和第二曝光組件，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件分別設于所述工作臺的兩側、并均能夠沿所述工作臺移動，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均移動、并在所述工作臺形成曝光區，所述曝光區與所述曝光通孔對應設置；及

裝載機構，所述裝載機構包括裝載臺，所述裝載臺設有第一裝載部和第二裝載部，所述第一裝載部用于裝載第一待曝光件，所述第二裝載部用于裝載第二待曝光件，所述第一裝載部和所述第二裝載部呈間距設置，所述裝載臺能夠沿所述工作臺移動、并使所述第一裝載部或所述第二裝載部移動至所述曝光區，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件移動、并對所述曝光區的所述第一待曝光件或所述第二待曝光件進行曝光；

曝光時，所述裝載臺左移、使所述第一待曝光件位于所述曝光區，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均朝右移動、并對所述第一待曝光件進行曝光，同時，所述第二裝載部裝載所述第二待曝光件；當所述第一待曝光件曝光完成后，所述裝載臺右移、使所述第二待曝光件位于所述曝光區，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均朝左移動、并對所述第二待曝光件進行曝光，同時，卸載曝光完成的第一曝光成品，所述第一裝載部裝載下一個第一待曝光件。

2.根據權利要求1所述的雙裝載部的雙面曝光機，其特征在于，所述曝光機構還包括曝光安裝架和曝光驅動器，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均設于所述曝光安裝架，所述曝光驅動器用于驅動所述曝光安裝架、并使所述曝光安裝架沿所述工作臺移動。

3.根據權利要求1所述的雙裝載部的雙面曝光機，其特征在于，所述曝光機構還包括第一安裝架、第二安裝架、第一驅動器和第二驅動器，所述第一曝光組件設于所述第一安裝架，所述第二曝光組件設于所述第二安裝架，所述第一驅動器用于驅動所述第一安裝架沿所述工作臺移動，所述第二驅動器用于驅動所述第二安裝架沿所述工作臺移動。

4.根據權利要求1所述的雙裝載部的雙面曝光機，其特征在于，所述裝載機構還包括裝載驅動器，所述裝載驅動器用于驅動所述裝載臺、并使所述裝載臺沿所述工作臺移動。

5.根據權利要求1所述的雙裝載部的雙面曝光機，其特征在于，所述裝載機構還包括鎖定器，所述鎖定器用于鎖定所述裝載臺、并使所述第一裝載部或所述第二裝載部位于所述曝光區。

6.根據權利要求1所述的雙裝載部的雙面曝光機，其特征在于，還包括傳感機構，所述傳感機構包括第一傳感組件和第二傳感組件，所述第一傳感組件用于檢測所述第一曝光組件的移動位置和所述第二曝光組件的移動位置，所述第二傳感組件用于檢測所述裝載臺的移動位置。

7.根據權利要求1所述的雙裝載部的雙面曝光機，其特征在于，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均沿所述工作臺在第一方向移動，所述裝載臺沿所述工作臺在所述第一方向移動；

或所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均沿所述工作臺在第二方向移動，所述裝載臺沿所述工作臺在第三方向移動。

8.根據權利要求1所述的雙裝載部的雙面曝光機，其特征在于，所述裝載臺設有第一導軌，所述工作臺設有與所述第一導軌配合的第一滑槽。

9.根據權利要求1-8任一項所述的雙裝載部的雙面曝光機，其特征在于，還包括物料取放機構，所述物料取放機構包括第一取放器和第二取放器，所述第一取放器用于取放所述第一裝載部的所述第一待曝光件，所述第二取放器用于取放所述第二裝載部的所述第二待曝光件。

10.一種雙面曝光方法，能夠應用于如權利要求1-9任一項所述的雙裝載部的雙面曝光機，其特征在于，包括以下步驟：

(S1)、第一曝光組件位于第一初始位置，第二曝光組件位于第二初始位置，裝載臺位于第二曝光位置，在所述裝載臺的第一裝載部裝載第一待曝光件；

(S2)、所述裝載臺移動至第一曝光位置、并使所述第一待曝光件位于曝光區；

(S3)、所述第一曝光組件移動至第一預設位置、且所述第二曝光組件移動至第二預設位置、并對所述第一待曝光件進行曝光、得到第一曝光成品；同時在第二裝載部裝載第二待曝光件；

(S4)、所述裝載臺移動至所述第二曝光位置、并使所述第二待曝光件位于所述曝光區；

(S5)、所述第一曝光組件移動至所述第一初始位置、且所述第二曝光組件移動至所述第二初始位置、并對所述第二待曝光件進行曝光、得到第二曝光成品；同時卸載所述第一裝載部的所述第一曝光成品、并裝載下一個第一待曝光件；

(S6)、所述裝載臺移動至所述第一曝光位置，并卸載所述第二裝載部的所述第二曝光成品。