[發(fā)明專利]壓電驅(qū)動裝置及其驅(qū)動方法、機器人、電子部件輸送裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810832568.8 | 申請日: | 2018-07-25 |
| 公開(公告)號: | CN109309458B | 公開(公告)日: | 2023-01-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 梶野喜一;荒川豊 | 申請(專利權(quán))人: | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號: | H02N2/00 | 分類號: | H02N2/00 |
| 代理公司: | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 張永明;玉昌峰 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 壓電 驅(qū)動 裝置 及其 方法 機器人 電子 部件 輸送 | ||
1.一種壓電驅(qū)動裝置,其特征在于,驅(qū)動被驅(qū)動部件,并具備:
壓電振動體;以及
驅(qū)動電路,電氣驅(qū)動所述壓電振動體,
所述壓電振動體具備:
觸頭,相對于所述被驅(qū)動部件沿著第一方向延伸并與所述被驅(qū)動部件接觸;
第一壓電元件,根據(jù)從所述驅(qū)動電路供給的第一驅(qū)動電壓,在與所述第一方向交叉的方向上產(chǎn)生彎曲振動;以及
第二壓電元件,根據(jù)從所述驅(qū)動電路供給的第二驅(qū)動電壓,在所述第一方向上產(chǎn)生縱向振動,
所述壓電振動體構(gòu)成為所述縱向振動的共振頻率高于所述彎曲振動的共振頻率,
所述驅(qū)動電路將所述第一驅(qū)動電壓及所述第二驅(qū)動電壓的驅(qū)動頻率設(shè)定為所述縱向振動的共振頻率以上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動裝置,其特征在于,
所述驅(qū)動電路從高于所述縱向振動的共振頻率的頻率起對所述驅(qū)動頻率進行降頻掃描來將所述驅(qū)動頻率設(shè)定為所述縱向振動的共振頻率以上的頻率。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電驅(qū)動裝置,其特征在于,
所述壓電振動體還具備拾取電極,所述拾取電極檢測所述壓電振動體的振動并向所述驅(qū)動電路供給振動檢測信號,
所述驅(qū)動電路根據(jù)所述振動檢測信號確定所述驅(qū)動頻率,
所述拾取電極配置于沿所述第一方向延伸的所述壓電振動體的中心軸上的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電驅(qū)動裝置,其特征在于,
所述拾取電極配置于成為所述彎曲振動的節(jié)的位置。
5.一種壓電驅(qū)動裝置的驅(qū)動方法,其特征在于,
所述壓電驅(qū)動裝置具有壓電振動體,
所述壓電振動體具備:觸頭,相對于被驅(qū)動部件沿著第一方向延伸并與所述被驅(qū)動部件接觸;第一壓電元件,根據(jù)第一驅(qū)動電壓,在與所述第一方向交叉的方向上產(chǎn)生彎曲振動;以及第二壓電元件,根據(jù)第二驅(qū)動電壓,在所述第一方向上產(chǎn)生縱向振動,
在所述壓電驅(qū)動裝置的驅(qū)動方法中,所述壓電振動體構(gòu)成為所述縱向振動的共振頻率高于所述彎曲振動的共振頻率,并且,
在所述壓電驅(qū)動裝置的驅(qū)動方法中,將具有所述縱向振動的共振頻率以上的驅(qū)動頻率的第一驅(qū)動電壓及第二驅(qū)動電壓供給至所述第一壓電元件及所述第二壓電元件。
6.一種機器人,其特征在于,具備:
權(quán)利要求1至4中任一項所述的壓電驅(qū)動裝置。
7.一種電子部件輸送裝置,其特征在于,具備:
權(quán)利要求1至4中任一項所述的壓電驅(qū)動裝置。
8.一種打印機,其特征在于,具備:
權(quán)利要求1至4中任一項所述的壓電驅(qū)動裝置。
9.一種投影儀,其特征在于,具備:
權(quán)利要求1至4中任一項所述的壓電驅(qū)動裝置。
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