[發(fā)明專利]一種大分子沉積裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810830619.3
• 申請(qǐng)日: 2018-07-13
• 公開（公告）號(hào): CN108704772A
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周紅曉;張向平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 金華職業(yè)技術(shù)學(xué)院
• 主分類號(hào): B05B5/08
• 分類號(hào): B05B5/08;B05B5/03;B05D1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種大分子沉積裝置，主要包括緩沖氣出口(1)、噴霧腔(2)、電噴霧裝置(3)、高壓電源(4)、緩沖氣體腔(5)、出氣口I(6)、出氣口II(7)、緩沖氣進(jìn)口(8)、真空腔(9)、泵組I(10)、分流器I(11)、泵組II(12)、分流器II(13)、泵組III(14)、沉積腔(15)、擋板(16)、直流電源(17)和樣品(18)，xyz為三維坐標(biāo)系，所述噴霧腔(2)、緩沖氣體腔(5)、真空腔(9)和沉積腔(15)依次連接，所述真空腔(9)被分流器I(11)和分流器II(13)分為真空段I(9-1)、真空段II(9-2)和真空段III(9-3)，真空段I(9-1)和真空段III(9-3)分別位于真空腔(9)的起始端和末端，所述起始端和末端均具有小孔，沉積腔(15)的起始端具有小孔；泵組I(10)、泵組II(12)和泵組III(14)分別連接真空段I(9-1)、真空段II(9-2)和真空段III(9-3)；所述擋板(16)和樣品(18)位于沉積腔(15)中，擋板(16)為金屬材質(zhì)并具有通孔，所述通孔直徑范圍是一毫米至十毫米；直流電源(17)的一個(gè)電極連接擋板(16)，另一個(gè)電極接地，能夠中和積聚在擋板(16)上的電荷；電噴霧裝置(3)位于噴霧腔(2)內(nèi)，電噴霧裝置(3)由外管(1-1)、內(nèi)管(1-2)、擋板(1-3)和液體入口(1-4)組成，所述擋板(1-3)將所述內(nèi)管(1-2)的末端端口密封，所述外管(1-1)和內(nèi)管(1-2)均為圓柱形，外管(1-1)的內(nèi)徑為3000微米，內(nèi)管(1-2)的外徑為2700微米，所述外管(1-1)和內(nèi)管(1-2)為同軸嵌套構(gòu)型，外管(1-1)和內(nèi)管(1-2)之間為液體通道，液體入口(1-4)連接外管(1-1)外壁并與所述液體通道連通，高壓電源(4)與外管(1-1)電纜連接，

其特征是：所述緩沖氣體腔(5)具有出氣口I(6)、出氣口II(7)和緩沖氣進(jìn)口(8)，出氣口II(7)是直徑為二毫米的圓形且位于xy平面，出氣口I(6)是內(nèi)徑為六毫米外徑為八毫米的環(huán)形且位于xy平面，出氣口I(6)與出氣口II(7)同心，緩沖氣體從緩沖氣進(jìn)口(8)進(jìn)入緩沖氣體腔(5)，并能夠通過出氣口I(6)和出氣口II(7)進(jìn)入噴霧腔(2)，最終從緩沖氣出口(1)排出，緩沖氣體為氮?dú)饣蚝猓浑妵婌F裝置(3)的外管(1-1)末端內(nèi)壁上具有形狀相同的若干缺口，相鄰的所述缺口之間的間距相等，使得能夠增大局域電場(chǎng)而產(chǎn)生更多的液體噴霧，所述分流器I(11)具有加熱絲，其溫度能夠從室溫到500攝氏度范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大分子沉積裝置，其特征是：所述外管(1-1)末端內(nèi)壁上的缺口數(shù)量為四到十二個(gè)，所述缺口形狀為半圓形或正方形或三角形。