[發明專利]一種多孔石墨烯心音檢測傳感器及其制作方法

在審

• 申請號: 201810828229.2
• 申請日: 2018-07-25
• 公開（公告）號: CN108996463A
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 張旻;劉易鑫;李宏正;錢翔
• 申請（專利權）人: 清華大學深圳研究生院
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81C1/00;A61B7/04
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 王震宇

1.一種多孔石墨烯心音檢測傳感器，其特征在于,包括應變敏感區和電極，所述應變敏感區包括多孔石墨烯薄膜和包裹所述多孔石墨烯薄膜的聚合物彈性體包裹層，所述聚合物彈性體包裹層的聚合物彈性體填充所述多孔石墨烯薄膜的空隙。

2.如權利要求1所述的多孔石墨烯心音檢測傳感器，其特征在于,所述多孔石墨烯薄膜為激光誘導石墨烯薄膜。

3.如權利要求1或2所述的多孔石墨烯心音檢測傳感器，其特征在于,所述多孔石墨烯薄膜的孔隙率為25％-65％。

4.如權利要求1至3任一項所述的多孔石墨烯心音檢測傳感器，其特征在于,所述多孔石墨烯薄膜的厚度為40-200μm。

5.如權利要求1至4任一項所述的多孔石墨烯心音檢測傳感器，其特征在于,所述多孔石墨烯薄膜形成為蛇形、渦狀線形和直線形中的至少一種圖形。

6.如權利要求5所述的多孔石墨烯心音檢測傳感器，其特征在于,所述圖形的線寬為30-2000μm，優選地，蛇形圖形的轉角處的寬度為線寬的2倍到4倍。

7.如權利要求1至6任一項所述的多孔石墨烯心音檢測傳感器，其特征在于,所述聚合物彈性體為聚二甲基硅氧烷PDMS、硅橡膠或聚氨酯橡膠。

8.如權利要求1至7任一項所述的多孔石墨烯心音檢測傳感器，其特征在于,所述多孔石墨烯薄膜利用激光燒蝕聚合物薄膜生成，所述聚合物薄膜的材質為聚酰亞胺或聚醚酰亞胺；優選地，所述激光的波長為405nm-10.6μm，功率為4W到10W，更優選地，所述激光為二氧化碳激光或藍色激光；優選地，激光燒蝕所述聚合物薄膜的相對運動速率為50mm/s到500mm/s。

9.如權利要求1至8任一項所述的多孔石墨烯心音檢測傳感器，其特征在于,所述聚合物彈性體是由液態施加于所述多孔石墨烯薄膜上熱固化成型的。

10.一種制作如權利要求1至9任一項所述的多孔石墨烯心音檢測傳感器的方法，其特征在于,包括以下步驟：

S1、在硅片表面覆蓋聚酰亞胺薄膜；

S2、通過激光燒蝕所述聚酰亞胺薄膜，誘導生成激光誘導石墨烯薄膜；

S3、在所述激光誘導石墨烯薄膜上旋涂PDMS，固化后形成包覆所述激光誘導石墨烯薄膜的一面的PDMS薄膜；

S4、將帶有所述激光誘導石墨烯薄膜、所述PDMS薄膜的聚酰亞胺薄膜從所述硅片上剝離下來，再從剝離的部分中去除所述聚酰亞胺薄膜，在暴露出的所述激光誘導石墨烯薄膜的表面制作電極，并在暴露出的所述激光誘導石墨烯薄膜的表面除電極區之外的區域還另外鍵合一層PDMS薄膜，PDMS薄膜從兩面共同包裹所述激光誘導石墨烯薄膜，形成應變敏感區。