[發(fā)明專利]張網(wǎng)結(jié)構(gòu)、張網(wǎng)裝置及張網(wǎng)方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810826711.2 | 申請(qǐng)日: | 2018-07-25 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108950475B | 公開(公告)日: | 2020-11-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張浩瀚 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C14/04 | 分類號(hào): | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京三高永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11138 | 代理人: | 楊廣宇 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 結(jié)構(gòu) 裝置 方法 | ||
本發(fā)明是關(guān)于一種張網(wǎng)結(jié)構(gòu)、張網(wǎng)裝置及張網(wǎng)方法,屬于顯示面板制造領(lǐng)域。該張網(wǎng)裝置,包括:相對(duì)設(shè)置有兩組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組,每組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組包括至少一個(gè)張網(wǎng)結(jié)構(gòu),每個(gè)張網(wǎng)結(jié)構(gòu)包括固定架,以及設(shè)置在固定架上可轉(zhuǎn)動(dòng)的滾軸,兩組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組的滾軸的側(cè)面被配置為卡接形成有精細(xì)金屬掩模板FMM條的框架的目標(biāo)側(cè)面,目標(biāo)側(cè)面為布置有FMM條的側(cè)面;與兩組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組中的每個(gè)張網(wǎng)結(jié)構(gòu)的固定架對(duì)應(yīng)連接的滑動(dòng)結(jié)構(gòu),每個(gè)滑動(dòng)結(jié)構(gòu)被配置為帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的滾軸在目標(biāo)側(cè)面滑動(dòng);兩組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組的滾軸的側(cè)面相對(duì)于目標(biāo)側(cè)面滑動(dòng)時(shí),兩組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組的滾軸的側(cè)面為目標(biāo)側(cè)面的不同位置施加對(duì)抗力。本發(fā)明提高了形成的FMM的精度。本發(fā)明用于顯示面板制造中的張網(wǎng)過程。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及顯示面板制造領(lǐng)域,特別涉及一種張網(wǎng)結(jié)構(gòu)、張網(wǎng)裝置及張網(wǎng)方法。
背景技術(shù)
有機(jī)發(fā)光二極管(英文:Organic Light Emitting Diode,簡(jiǎn)稱:OLED)顯示面板以其全固態(tài)、主動(dòng)發(fā)光、高對(duì)比度、超薄、低功耗、響應(yīng)速度快等諸多優(yōu)點(diǎn),逐漸成為目前顯示領(lǐng)域極具前景的顯示產(chǎn)品。在OLED顯示面板的生產(chǎn)中,用于將有機(jī)發(fā)光材料蒸鍍到顯示基板上的精細(xì)金屬掩模板(英文:Fine Metal Mask,簡(jiǎn)稱:FMM)是OLED顯示面板生產(chǎn)過程中的重要器件。
通常情況下,一套FMM包括:框架、支撐掩膜版和多條FMM條,F(xiàn)MM一般采用張網(wǎng)技術(shù)制作,張網(wǎng)過程就是將支撐掩膜版和FMM條焊接到框架上的過程,由于每焊接一條FMM條時(shí),該FMM條會(huì)對(duì)框架產(chǎn)生一定的拉伸力(英文:Stretch Force,簡(jiǎn)稱:SF),該拉伸力會(huì)造成框架發(fā)生形變從而導(dǎo)致最終形成的整個(gè)FMM的變形。為了平衡這一拉伸力,通常在焊接過程中會(huì)對(duì)框架施加一定的對(duì)抗力(英文:Counter Force,簡(jiǎn)稱:CF)。目前,采用張網(wǎng)裝置來對(duì)焊接過程中的框架施加CF,該張網(wǎng)裝置包括多個(gè)卡接件,該多個(gè)卡接件用于夾持框架,并在夾持的位置為框架施加CF。
但是,由于在張網(wǎng)過程中,每焊接一個(gè)FMM條,框架受到的拉伸力就產(chǎn)生變化,而多個(gè)卡接件為框架施加的CF的位置是固定的,只能通過調(diào)節(jié)CF來平衡SF,無法有效平衡SF,導(dǎo)致最終形成的FMM精度較低。
發(fā)明內(nèi)容
為了實(shí)現(xiàn),本發(fā)明實(shí)施例提供了一種張網(wǎng)結(jié)構(gòu)、張網(wǎng)裝置及張網(wǎng)方法,能夠解決張網(wǎng)過程中張網(wǎng)裝置的卡接件為框架施加的對(duì)抗力的位置是固定的,無法有效平衡焊接FMM條對(duì)框架產(chǎn)生的拉伸力,導(dǎo)致最終形成的FMM精度較低的問題,所述技術(shù)方案如下:
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的第一方面,提供一種張網(wǎng)裝置,包括:
相對(duì)設(shè)置有兩組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組,每組所述張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組包括至少一個(gè)張網(wǎng)結(jié)構(gòu),每個(gè)所述張網(wǎng)結(jié)構(gòu)包括固定架,以及設(shè)置在所述固定架上可轉(zhuǎn)動(dòng)的滾軸,所述兩組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組的滾軸的側(cè)面被配置為卡接形成有精細(xì)金屬掩模板FMM條的框架的目標(biāo)側(cè)面,所述目標(biāo)側(cè)面為布置有FMM條的側(cè)面;
與所述兩組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組中的每個(gè)張網(wǎng)結(jié)構(gòu)的固定架對(duì)應(yīng)連接的滑動(dòng)結(jié)構(gòu),每個(gè)所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)被配置為帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的滾軸在所述目標(biāo)側(cè)面滑動(dòng);
所述兩組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組的滾軸的側(cè)面相對(duì)于所述目標(biāo)側(cè)面滑動(dòng)時(shí),所述兩組張網(wǎng)結(jié)構(gòu)組的滾軸的側(cè)面為所述目標(biāo)側(cè)面的不同位置施加對(duì)抗力。
可選的,所述固定架包括U形結(jié)構(gòu),所述U形結(jié)構(gòu)包括第一條形結(jié)構(gòu),和位于所述第一條形結(jié)構(gòu)兩端且平行布置的兩個(gè)第二條形結(jié)構(gòu),所述滾軸的兩端與所述兩個(gè)第二條形結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)分別活動(dòng)連接。
可選的,所述固定架包括U形結(jié)構(gòu),所述U形結(jié)構(gòu)包括第一條形結(jié)構(gòu),和位于所述第一條形結(jié)構(gòu)兩端且平行布置的兩個(gè)第二條形結(jié)構(gòu),所述滾軸包括定軸和動(dòng)環(huán),所述定軸的兩端與所述兩個(gè)第二條形結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)分別固定連接,所述動(dòng)環(huán)套接在所述定軸外,能夠相對(duì)于所述定軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
可選的,在每個(gè)所述張網(wǎng)結(jié)構(gòu)中,所述固定架還包括支撐架,所述支撐架與所述U形結(jié)構(gòu)的至少一個(gè)條形結(jié)構(gòu)的外側(cè)固定連接,每個(gè)所述固定架通過所述支撐架與對(duì)應(yīng)的所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)連接。
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- 專利分類
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
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