[發明專利]一種柔性電子紙的制作方法及其柔性電子紙裝置

有效

• 申請號: 201810825364.1
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN108828871B
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 毛瓊琴;席克瑞
• 申請（專利權）人: 上海天馬微電子有限公司
• 主分類號: G02F1/167
• 分類號: G02F1/167;G02F1/1679;G02F1/1685;G02F1/1676
• 代理公司: 北京晟睿智杰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11603
• 代理人: 于淼

1.一種柔性電子紙的制作方法，包括：

提供一玻璃基板，在所述玻璃基板的一側表面形成第一有機材料層；

在所述第一有機材料層遠離所述玻璃基板的一側形成薄膜晶體管層和像素電極層，所述薄膜晶體管層包括多個薄膜晶體管，所述像素電極層包括多個像素電極，所述像素電極與所述薄膜晶體管對應電連接；

對所述薄膜晶體管層遠離所述玻璃基板的一側進行封裝形成封裝層；

在所述封裝層遠離所述玻璃基板一側形成第一保護膜；

將所述玻璃基板和所述第一有機材料層分離；

在所述第一有機材料層遠離所述薄膜晶體管層的一側形成電泳膜；

在所述電泳膜遠離所述第一有機材料層的一側形成第二保護膜，所述第二保護膜一側的表面設置有公共電極層。

2.根據權利要求1所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，還包括：在所述電泳膜的外圍封膠。

3.根據權利要求1所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，所述第一有機材料層通過涂覆工藝形成。

4.根據權利要求3所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，所述第一有機材料層包括聚酰亞胺材料。

5.根據權利要求1所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，還包括：在所述第一有機材料層遠離所述玻璃基板的一側形成像素電極層，并在所述像素電極層遠離所述玻璃基板的一側形成第二有機材料層。

6.根據權利要求5所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，所述第一有機材料層的厚度為H1，所述第二有機材料層的厚度為H2，且，2H2≥H1≥H2。

7.根據權利要求5所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，所述像素電極和所述薄膜晶體管通過第一過孔電連接，所述第一過孔貫穿所述第二有機材料層以暴露出所述像素電極。

8.根據權利要求7所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，所述薄膜晶體管包括有源層、柵極層、源極/漏極層；

所述源極/漏極層與所述有源層電連接且位于所述有源層遠離所述第二有機材料層的一側；

所述柵極層位于所述源極/漏極層遠離所述第二有機材料層的一側。

9.根據權利要求7所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，所述薄膜晶體管包括有源層、柵極層、源極/漏極層；

所述有源層位于所述柵極層遠離所述第二有機材料層的一側；

所述源極/漏極層與所述有源層電連接且位于所述有源層遠離所述第二有機材料層的一側。

10.根據權利要求7所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，所述薄膜晶體管包括有源層、柵極層、源極/漏極層；

所述有源層與所述源極/漏極層電連接，且所述源極/漏極層位于所述有源層遠離所述第二有機材料層的一側；

所述柵極層位于所述有源層遠離所述第二有機材料層的一側。

11.根據權利要求1所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，還包括，在形成所述封裝層之前，在所述薄膜晶體管層遠離所述玻璃基板一側形成第一導電層。

12.根據權利要求11所述的柔性電子紙的制作方法，其特征在于，所述像素電極層包括與所述像素電極相互絕緣的公共信號層，所述公共信號層與所述第一導電層電連接。