[發(fā)明專(zhuān)利]光阻涂布設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810825008.X
• 申請(qǐng)日: 2018-07-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108873609A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱浩東
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 朱浩東
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/16
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/16
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明提供一種光阻涂布設(shè)備，包括光阻涂布機(jī)構(gòu)以及兩個(gè)光阻殘留去除結(jié)構(gòu)；所述光阻涂布機(jī)構(gòu)包括光阻存儲(chǔ)器以及設(shè)置于所述光阻存儲(chǔ)器下端面上的涂布組件，該涂布組件呈三棱柱狀，且該涂布組件的一個(gè)第一側(cè)壁面與該光阻存儲(chǔ)器連接，該涂布組件設(shè)置有沿著該第一側(cè)壁面的中垂面設(shè)置的涂布槽，該光阻涂布機(jī)構(gòu)本體的兩個(gè)相互傾斜連接的第二側(cè)壁面上分別設(shè)置有滑動(dòng)槽；所述光阻殘留去除結(jié)構(gòu)包括滑塊、擦板、風(fēng)嘴以及噴液嘴，所述滑塊可滑動(dòng)地設(shè)置于所述滑動(dòng)槽中，所述滑塊中設(shè)置有電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以驅(qū)動(dòng)該滑塊沿著該滑動(dòng)槽自動(dòng)滑動(dòng)，該擦板設(shè)置于該滑塊上且其內(nèi)側(cè)面與該第二側(cè)壁面的局部貼合，該擦板以及風(fēng)嘴分別設(shè)置于該滑塊上且位于該擦板兩側(cè)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及材料涂布領(lǐng)域，具體涉及一種光阻涂布設(shè)備。

背景技術(shù)

光阻涂布設(shè)備在涂布光阻到面板上時(shí)在該涂布結(jié)構(gòu)的傾斜面上會(huì)殘留一些光阻，再次涂布時(shí)，有可能會(huì)使得光阻殘留與新的光阻接觸，這些光阻殘留會(huì)影響涂布時(shí)的品質(zhì)，可能產(chǎn)生不良產(chǎn)品。

因此，現(xiàn)有技術(shù)存在缺陷，急需改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例的目的是提供一種光阻涂布設(shè)備，具有自動(dòng)去除光阻殘留的效果。

本發(fā)明提供了一種光阻涂布設(shè)備，包括光阻涂布機(jī)構(gòu)、兩個(gè)光阻殘留去除結(jié)構(gòu)、清洗液罐以及熱風(fēng)機(jī)；

所述光阻涂布機(jī)構(gòu)包括光阻存儲(chǔ)器以及設(shè)置于所述光阻存儲(chǔ)器下端面上的涂布組件，該涂布組件呈棱柱狀，且該涂布組件的一個(gè)第一側(cè)壁面與該光阻存儲(chǔ)器的底壁連接，該光阻存儲(chǔ)器的底壁上開(kāi)設(shè)有條狀出口，該涂布組件設(shè)置有沿著該第一側(cè)壁面的中垂面設(shè)置的與該條狀出口連通的涂布槽，該涂布槽從該第一側(cè)壁面處延伸至與該第一側(cè)壁面相對(duì)的側(cè)棱處，且將該側(cè)棱貫穿，該涂布槽的長(zhǎng)度小于該涂布組件的長(zhǎng)度且等于該條狀出口的長(zhǎng)度；

該光阻涂布機(jī)構(gòu)本體的兩個(gè)相互傾斜連接的第二側(cè)壁面上分別設(shè)置有滑動(dòng)槽，該滑動(dòng)槽沿著該涂布組件的長(zhǎng)度方向延伸；

該兩個(gè)光阻殘留去除結(jié)構(gòu)分別設(shè)置于該兩個(gè)第二側(cè)壁面上且可沿著所述滑動(dòng)槽滑動(dòng)；所述光阻殘留去除結(jié)構(gòu)包括滑塊、擦板、風(fēng)嘴以及噴液嘴，所述滑塊可滑動(dòng)地設(shè)置于所述滑動(dòng)槽中，所述滑塊中設(shè)置有電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以驅(qū)動(dòng)該滑塊沿著該滑動(dòng)槽自動(dòng)滑動(dòng)，該擦板設(shè)置于該滑塊上且其內(nèi)側(cè)面與該第二側(cè)壁面的局部貼合，該擦板以及風(fēng)嘴分別設(shè)置于該滑塊上且位于該擦板兩側(cè)；

所述清洗液罐通過(guò)排液管與該噴液嘴連通，該熱風(fēng)機(jī)通過(guò)排風(fēng)管與該風(fēng)嘴連通。

在本發(fā)明所述的光阻涂布設(shè)備中，所述擦板的寬度為所述第二側(cè)壁面寬度的一半。

在本發(fā)明所述的光阻涂布設(shè)備中，所述擦板可沿著所述第二側(cè)壁面的寬度方向滑動(dòng)地設(shè)置于該滑塊上，且該擦板上設(shè)置有鎖緊機(jī)構(gòu)，使得鎖緊時(shí)，該擦板相對(duì)該滑塊固定，解鎖時(shí)，該擦板可相對(duì)該滑塊滑動(dòng)。

在本發(fā)明所述的光阻涂布設(shè)備中，所述擦板的與所述第二側(cè)壁面接觸的一面設(shè)置有彈性層。

在本發(fā)明所述的光阻涂布設(shè)備中，所述擦板的寬度為所述第二側(cè)壁面的寬度相同。

在本發(fā)明所述的光阻涂布設(shè)備中，所述側(cè)面上開(kāi)設(shè)有多個(gè)沿著寬度方向延伸的用于導(dǎo)引清洗液的導(dǎo)流槽。

在本發(fā)明所述的光阻涂布設(shè)備中，還包括控制芯片以及電池組件，該控制芯片以及電池組件均設(shè)置于所述滑塊內(nèi)，控制芯片以及電池組件分別與所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。