[發明專利]驅動掃描微鏡進行轉動的方法及其裝置

有效

• 申請號: 201810823608.2
• 申請日: 2018-07-25
• 公開（公告）號: CN110764251B
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發明（設計）人: 沈文江;余暉俊;黃艷飛
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

1.一種驅動掃描微鏡進行轉動的方法，其特征在于，所述方法包括：

產生對掃描微鏡擾動最小的鋸齒波；

獲取所述掃描微鏡的第一位置信號；

根據所述鋸齒波和所述第一位置信號產生驅動信號，以驅動所述掃描微鏡進行轉動；

其中，所述產生對掃描微鏡擾動最小的鋸齒波的步驟包括：

確定對掃描微鏡的擾動最小的鋸齒波的占空比為最小擾動占空比；

產生占空比為最小擾動占空比的鋸齒波；

其中，所述確定對掃描微鏡的擾動最小的鋸齒波的最小擾動占空比的步驟包括：

產生多個不同占空比的鋸齒波；

分別根據所述多個不同占空比的鋸齒波驅動所述掃描微鏡進行轉動；

獲取所述掃描微鏡的第二位置信號并根據所述第二位置信號分別計算所述多個不同占空比的鋸齒波對所述掃描微鏡的擾動大小；

將對所述掃描微鏡的擾動最小的鋸齒波對應的占空比設置為最小擾動占空比。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述驅動信號驅動所述掃描微鏡沿Y軸方向進行轉動；當所述掃描微鏡的旋轉角度為0時，光源發出的入射光線構成的入射平面與掃描微鏡所在平面垂直，所述Y軸方向為所述掃描微鏡旋轉角度為0時，所述掃描微鏡所在平面上的與所述入射平面垂直的方向。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據所述鋸齒波和所述第一位置信號產生驅動信號，以驅動所述掃描微鏡進行轉動的步驟是根據所述鋸齒波和所述第一位置信號采用PID控制算法產生驅動信號。

4.一種驅動掃描微鏡進行轉動的裝置，其特征在于，包括：第一控制器、第二控制器、反饋裝置；

所述第一控制器用于確定對所述掃描微鏡的擾動最小的鋸齒波的最小擾動占空比，且所述第一控制器用于產生占空比為最小擾動占空比的鋸齒波；

當所述驅動掃描微鏡進行轉動的系統驅動掃描微鏡工作時：

所述第一控制器與所述第二控制器連接，所述第一控制器產生占空比為最小擾動占空比的鋸齒波發送給所述第二控制器；

所述反饋裝置與所述第二控制器連接，同時所述反饋裝置與所述掃描微鏡連接，所述反饋裝置獲取所述掃描微鏡的第一位置信號發送給所述第二控制器；

所述第二控制器根據所述鋸齒波和所述第一位置信號產生驅動信號，以驅動所述掃描微鏡進行轉動；

其中，當所述第一控制器確定對掃描微鏡擾動最小的鋸齒波的最小擾動占空比時：

所述第一控制器與所述掃描微鏡連接，所述第一控制器產生多個不同占空比的鋸齒波驅動所述掃描微鏡進行轉動；

所述反饋裝置與所述第一控制器連接，同時所述反饋裝置獲取所述掃描微鏡的第二位置信號發送給所述第一控制器；

所述第一控制器根據第二位置信號確定不同占空比的鋸齒波對掃描微鏡的擾動的大小，并將對所述掃描微鏡的擾動最小的鋸齒波的占空比作為最小擾動占空比。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述第二控制器為PID控制器。

6.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述反饋裝置為安裝于所述掃描微鏡上的位置傳感器。

7.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述驅動信號驅動所述掃描微鏡沿Y軸方向進行轉動；當所述掃描微鏡的旋轉角度為0時，光源發出的入射光線構成的入射平面與掃描微鏡所在平面垂直，所述Y軸方向為所述掃描微鏡旋轉角度為0時，所述掃描微鏡所在平面上的與所述入射平面垂直的方向。