[發明專利]探測設備的分辨力測試方法、測試裝置及存儲介質

在審

• 申請號: 201810822081.1
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN109143404A
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 賈成艷;王榮;祁春超
• 申請（專利權）人: 深圳市華訊方舟太赫茲科技有限公司;華訊方舟科技有限公司
• 主分類號: G01V13/00
• 分類號: G01V13/00
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 鐘子敏

1.一種探測設備的分辨力測試方法，其特征在于，包括：

獲取探測設備對不同尺寸的多個測試模塊進行掃描后生成的掃描圖像；

根據所述掃描圖像，確定出能夠清晰成像且尺寸最小的測試模塊，將所述尺寸最小的測試模塊的尺寸作為所述探測設備的分辨力。

2.根據權利要求1所述的分辨力測試方法，其特征在于，

所述測試模塊包括金屬條。

3.根據權利要求2所述的分辨力測試方法，其特征在于，

所述根據所述掃描圖像，確定出能夠清晰成像且尺寸最小的測試模塊，將所述尺寸最小的測試模塊的尺寸作為所述探測設備的分辨力的步驟，包括：

根據所述掃描圖像，從多個所述金屬條中確定能夠清晰成像且尺寸最小的金屬條，將所述尺寸最小的金屬條的尺寸作為所述探測設備的線分辨力。

4.根據權利要求1所述的分辨力測試方法，其特征在于，

所述測試模塊包括由尺寸相同的至少兩條金屬條組成的金屬條組，且所述至少兩條金屬條之間的間距與所述至少兩條金屬條的尺寸相同。

5.根據權利要求4所述的分辨力測試方法，其特征在于，

所述根據所述掃描圖像，確定出能夠清晰成像且尺寸最小的測試模塊，將所述尺寸最小的測試模塊的尺寸作為所述探測設備的分辨力的步驟，包括：

根據所述掃描圖像，從多個所述金屬條組中確定能夠清晰成像且包含的金屬條的尺寸最小的金屬條組，將確定的所述金屬條組中包含的金屬條的尺寸作為所述探測設備的空間分辨力。

6.根據權利要求1所述的分辨力測試方法，其特征在于，

所述不同尺寸的多個測試模塊分別貼附在同一測試基板上；或

所述不同尺寸的多個測試模塊分別貼附在不同的所述測試基板上。

7.根據權利要求1所述的分辨力測試方法，其特征在于，

所述獲取探測設備對不同尺寸的多個測試模塊進行掃描后生成的掃描圖像的步驟，包括：

獲取所述探測設備同時對所述不同尺寸的多個測試模塊進行掃描后生成的第一掃描圖像，其中，所述第一掃描圖像同時對應于所述多個測試模塊；或

分別獲取所述探測設備分別對所述不同尺寸的多個測試模塊進行檢測后生成的多個第二掃描圖像，其中，所述多個第二掃描圖像分別對應于所述多個測試模塊。

8.根據權利要求1所述的分辨力測試方法，其特征在于，

所述獲取探測設備對不同尺寸的多個測試模塊進行掃描后生成的掃描圖像的步驟之前，包括：

獲取所述探測設備對不同尺寸的多個測試模塊進行掃描后的回波信號，并根據所述回波信號，生成與所述多個測試模塊對應的掃描圖像。

9.一種探測設備的分辨力測試裝置，其特征在于，包括相互連接的存儲器和處理器，其中：

所述存儲器存儲有用于實現權利要求1-8任一項所述的分辨力測試方法的指令；

所述處理器執行所述存儲器中的所述指令。

10.一種存儲介質，其特征在于，所述存儲介質存儲有程序數據，所述程序數據能夠被執行以實現如權利要求1-8任意一項所述的分辨力測試方法。