[發明專利]TFT陣列基板測試裝置及測試方法

在審

• 申請號: 201810821040.0
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN109003567A
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 鄭亞蘭
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G09G3/00
• 分類號: G09G3/00
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;鞠驍

1.一種TFT陣列基板測試裝置，其特征在于，包括載臺(10)、設于載臺(10)上方的測試模塊(20)以及與測試模塊(20)連接的驅動模塊(30)；

所述測試模塊(20)包括設于載臺(10)上方的豎直的探頭(21)、設于探頭(21)一側的連接部(22)、設于連接部(22)遠離探頭(21)一側的探測卡(23)、設于載臺(10)上方的圖像獲取模塊(24)以及連接探頭(21)及圖像獲取模塊(24)的架體(25)，所述架體(25)與驅動模塊(30)連接；

所述圖像獲取模塊(24)位于探測卡(23)上方；所述圖像獲取模塊(24)包括與架體(25)連接的鏡頭(241)以及設于鏡頭(241)靠近載臺(10)一端的光源(242)；

所述載臺(10)用于放置TFT陣列基板(90)；所述TFT陣列基板(90)的一側設有測試組件(91)，將TFT陣列基板(90)放置在載臺(10)上之后，TFT陣列基板(90)設有測試組件(91)的一側朝上；

所述驅動模塊(30)用于驅動架體(25)移動帶動探頭(21)、連接部(22)、探測卡(23)及圖像獲取模塊(24)移動，使所述使探測卡(23)與測試組件(91)接觸從而使探測卡(23)與測試組件(91)電性連接；

所述圖像獲取模塊(24)用于利用其光源(242)對測試組件(91)進行光照；

所述探測卡(23)用于在與測試組件(91)電性連接后偵測流過測試組件(91)的電流。

2.如權利要求1所述的TFT陣列基板測試裝置，其特征在于，所述探測卡(23)包括設于連接部(22)遠離探頭(21)一側的本體(231)以及設于本體(231)遠離探頭(21)的端部并向靠近載臺(10)的方向延伸的探針(232)。

3.如權利要求2所述的TFT陣列基板測試裝置，其特征在于，所述本體(231)平行于水平面。

4.如權利要求2所述的TFT陣列基板測試裝置，其特征在于，所述圖像獲取模塊(24)位于探針(232)上方。

5.如權利要求1所述的TFT陣列基板測試裝置，其特征在于，所述光源(242)為環狀光源。

6.如權利要求1所述的TFT陣列基板測試裝置，其特征在于，所述圖像獲取模塊(24)為CCD相機；所述鏡頭(241)為CCD鏡頭。

7.如權利要求1所述的TFT陣列基板測試裝置，其特征在于，所述載臺(10)包括臺體(11)及設于臺體(11)下方的支座(12)；所述測試模塊(20)位于臺體(11)上方。

8.如權利要求1所述的TFT陣列基板測試裝置，其特征在于，所述架體(25)設于探頭(21)及圖像獲取模塊(24)上方。

9.一種TFT陣列基板測試方法，應用于如權利要求1-8任一項所述的TFT陣列基板測試裝置，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S1、提供TFT陣列基板(90)；所述TFT陣列基板(90)的一側設有測試組件(91)；將TFT陣列基板(90)放置于載臺(10)上，使TFT陣列基板(90)設有測試組件(91)的一側朝上；

步驟S2、驅動模塊(30)驅動架體(25)移動帶動探頭(21)、連接部(22)、探測卡(23)及圖像獲取模塊(24)移動，使探測卡(23)與測試組件(91)接觸從而使探測卡(23)與測試組件(91)電性連接；

步驟S3、圖像獲取模塊(24)利用其光源(242)對測試組件(91)進行光照；

步驟S4、探測卡(23)偵測流過測試組件(91)的電流。

10.如權利要求9所述的TFT陣列基板測試方法，其特征在于，所述步驟S2中，驅動模塊(30)驅動架體(25)移動帶動探頭(21)、連接部(22)、探測卡(23)及圖像獲取模塊(24)移動，使探測卡(23)的探針(232)與測試組件(91)接觸從而使探測卡(23)與測試組件(91)電性連接。