[發明專利]一種工件缺陷檢測系統

在審

• 申請號: 201810818695.2
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN108918657A
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: 高向東;鄭俏俏;馬波
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: G01N27/85
• 分類號: G01N27/85
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種工件缺陷檢測系統，其特征在于，包括：

磁場產生裝置，用于向被檢測工件產生磁矢量在空間旋轉的磁場；

第一傳感器，用于以偏振光感應所述被檢測工件上磁場分布，并將磁場強度分布對應記錄為光強分布圖像；

第二傳感器，用于測量所述被檢測工件上分別在三個正交方向上的磁場強度并對應記錄為電信號；

處理裝置，用于將測量的所述光強分布圖像輸出顯示，并根據所述第二傳感器記錄的電信號波形計算所述被檢測工件上缺陷的位置及深度信息。

2.根據權利要求1所述的工件缺陷檢測系統，其特征在于，所述第一傳感器包括光源、第一偏振元件、反光元件、介質膜、反射面、第二偏振元件和成像器件；

所述第一偏振元件用于將所述光源發出的光轉換為偏振光；

所述反光元件用于將由所述第一偏振元件出射的光反射至所述介質膜，光經過所述介質膜后入射到所述反射面；

所述成像器件用于接收由所述反射面反射回的光依次經過所述介質膜、所述第二偏振元件后的光，記錄形成光強分布圖像。

3.根據權利要求2所述的工件缺陷檢測系統，其特征在于，所述第一偏振元件與所述介質膜、所述反射面位于相互垂直的方向，所述反光元件以反射面與所述第一偏振元件出射光的方向的夾角為45度設置。

4.根據權利要求2所述的工件缺陷檢測系統，其特征在于，所述磁場產生裝置位于被檢測工件一側，所述第一傳感器和所述第二傳感器位于所述被檢測工件另一側，所述第一傳感器的所述介質膜、所述反射面朝向所述被檢測工件。

5.根據權利要求1所述的工件缺陷檢測系統，其特征在于，所述第一傳感器、所述第二傳感器并排設置在同一盒體內。

6.根據權利要求5所述的工件缺陷檢測系統，其特征在于，與所述第一傳感器連接的電壓傳感數據線、磁光傳感數據線和交流電源接線向盒體外引出；

在所述盒體外側對應所述第一傳感器的位置設置有電源開關、暫停按鈕以及電流調節按鈕；

在所述盒體外側對應所述第二傳感器的位置設置有連接板，通過螺釘穿過所述連接板、所述盒體板以及穿入所述第二傳感器將所述第二傳感器安裝。

7.根據權利要求1所述的工件缺陷檢測系統，其特征在于，所述磁場產生裝置包括兩對磁軛，其中一對磁軛間的連線與另一對磁軛間的連線交叉；

所述工件缺陷檢測系統還包括與兩對磁軛分別相連的、用于分別向兩對磁軛通入具有預設相位差的正弦交流電的交流電源。

8.根據權利要求1-7任一項所述的工件缺陷檢測系統，其特征在于，還包括：用于放置所述被檢測工件的運動平臺，以及用于驅動所述運動平臺移動的微型工業控制機，所述運動平臺為可在三維方向移動的三軸運動平臺。

9.根據權利要求1-7任一項所述的工件缺陷檢測系統，其特征在于，所述處理裝置還用于對所述光強分布圖像進行提取特征處理以及模型識別處理，而確定所述被檢測工件上缺陷的種類。