[發明專利]一種新型梳齒電極板微加速度計及其制作方法

在審

• 申請號: 201810818464.1
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN109142783A
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 洪文濤;董林璽
• 申請（專利權）人: 杭州電子科技大學
• 主分類號: G01P15/08
• 分類號: G01P15/08;G01P15/125
• 代理公司: 紹興市越興專利事務所(普通合伙) 33220
• 代理人: 蔣衛東

1.一種新型梳齒電極板微加速度計，結構包括質量塊、U型梁、錨點、柵形電極板、驅動器錨點，驅動器U型梁、驅動器塊、驅動器電極板，還有底部的電極層、襯底和掩膜層。

2.如權利要求1所述的一種新型梳齒電極板微加速度計，其特征在于：所述的質量塊，U型梁和錨點，以及中間部分的柵形電極，它們共同組成了傳感器的可動敏感質量塊部分；每條柵形條與下面電極層中的每對叉指互相對應；可動敏感質量塊兩側的上下兩端引伸出電極板，一共有4部分，分別與固定的驅動器電極板構成了梳齒電容結構；刻蝕的凹槽結構位于固定極板上。

3.如權利要求1所述的一種新型梳齒電極板微加速度計，其特征在于：在每個驅動器塊中間，留有一定的空間給防吸合阻擋塊。

4.如權利要求3所述的一種新型梳齒電極板微加速度計，其特征在于：防吸合阻擋塊與周圍的間距應小于極板間距，目的是在正對極板吸合前就‘抵住’固定塊，防止吸合的情況發生。

5.如權利要求1所述的一種新型梳齒電極板微加速度計，其特征在于：每個驅動器都設有錨點和U型彈性梁結構，錨點和U型梁也與底部電極層連接。

6.如權利要求5所述的一種新型梳齒電極板微加速度計，其特征在于：錨點可以起到支撐作用，還設置有多個外部驅動電流引入點，并在對應外部驅動電流引入焊點間設置有金屬驅動導線，用于連接外部電路。