[發明專利]一種旋轉平臺及多倍程平面干涉角度測量系統

有效

• 申請號: 201810818139.5
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN108917655B
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 李偉;高思田;李琪;施玉書;李適;朱振東;黃鷺;皮磊;張樹
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 程華

1.一種旋轉平臺，其特征在于：包括固定基座、轉臺和兩個驅動器，所述固定基座的上表面開設有與所述轉臺形狀相匹配的凹槽，所述轉臺以能夠轉動的方式嵌置在所述凹槽內；所述轉臺包括中心圓形轉子，所述中心圓形轉子的兩側對稱設置有兩個旋轉臂，兩個所述驅動器以所述中心圓形轉子的圓心為中心呈中心對稱分布，每個所述驅動器的輸出端均嵌置在所述旋轉臂的上表面內，每個所述驅動器的另一端均嵌置在所述固定基座的上表面內；兩個所述驅動器用于同時驅動兩個所述旋轉臂同向旋轉。

2.根據權利要求1所述的旋轉平臺，其特征在于：所述中心圓形轉子和兩個所述旋轉臂一體成型，每個所述旋轉臂的外端和所述中心圓形轉子的外周均通過柔性鉸鏈與所述凹槽的內壁連接，所述中心圓形轉子、所述旋轉臂、所述固定基座以及所述柔性鉸鏈為線切割一體成型。

3.根據權利要求2所述的旋轉平臺，其特征在于：所述旋轉臂以所述中心圓形轉子為中心呈向外輻射狀，每個所述旋轉臂的頂端均通過兩個所述柔性鉸鏈與所述凹槽的內壁連接，所述中心圓形轉子的外周通過均勻分布的六個所述柔性鉸鏈與所述凹槽的內壁連接。

4.根據權利要求3所述的旋轉平臺，其特征在于：所述驅動器為壓電陶瓷堆，每個所述壓電陶瓷堆的頂端均用于推動所述旋轉臂轉動，每個所述壓電陶瓷堆的尾端均通過螺栓固定在所述固定基座上。

5.一種多倍程平面干涉角度測量系統，其特征在于：包括測角干涉儀和如權利要求1～4任意一項所述的旋轉平臺，所述中心圓形轉子的上表面用于放置被測平面鏡，所述測角干涉儀用于設置在所述旋轉平臺的一側。

6.根據權利要求5所述的多倍程平面干涉角度測量系統，其特征在于：所述測角干涉儀包括第一偏振分光鏡，所述第一偏振分光鏡包括兩個第一直角棱鏡，兩個所述第一直角棱鏡拼接形成矩形偏振分光鏡，所述矩形偏振分光鏡的前端面鋪設有1/4波片，所述1/4波片用于與所述被測平面鏡的被測面平行放置；所述矩形偏振分光鏡的后端并排設置有兩個第二直角棱鏡，且兩個所述第二直角棱鏡的面積最大平面平行于所述矩形偏振分光鏡的后端面設置；所述矩形偏振分光鏡的一側設置有第二偏振分光鏡和兩個第三直角棱鏡，所述第二偏振分光鏡包括一個第四直角棱鏡和一個平行四邊形棱鏡，所述第四直角棱鏡的最大平面與所述平行四邊形棱鏡的一傾斜面對接，所述第四直角棱鏡和所述平行四邊形棱鏡拼接為一直角梯形偏振分光鏡，所述直角梯形偏振分光鏡的長底面靠近且平行于所述矩形偏振分光鏡的側端面設置，兩個所述第三直角棱鏡對稱分布在所述第二偏振分光鏡的兩側，兩個所述第三直角棱鏡的面積最大平面靠近且平行于所述矩形偏振分光鏡的側端面設置。

7.根據權利要求6所述的多倍程平面干涉角度測量系統，其特征在于：所述直角梯形偏振分光鏡設置為兩個，兩個所述直角梯形偏振分光鏡的長底面均靠近且平行于所述矩形偏振分光鏡的側端面設置，且兩個所述直角梯形偏振分光鏡沿所述矩形偏振分光鏡的高度方向反向疊加設置；兩個所述直角梯形偏振分光鏡的長底面上均鋪設有半波片。

8.根據權利要求7所述的多倍程平面干涉角度測量系統，其特征在于：所述第一直角棱鏡、所述第二直角棱鏡、所述第三直角棱鏡以及所述第四直角棱鏡均為等腰直角棱鏡，每個所述第二直角棱鏡的高度均等于所述矩形偏振分光鏡的高度，每個所述第二直角棱鏡的面積最大平面的寬度均等于所述矩形偏振分光鏡后端面長度的一半，且所述第二直角棱鏡的側棱與所述第一直角棱鏡的側棱平行；所述直角梯形偏振分光鏡的長底面長度與兩個所述第三直角棱鏡的高度之和等于所述矩形偏振分光鏡的側面長度，所述第三直角棱鏡的側棱與所述第一直角棱鏡的側棱垂直。

9.根據權利要求8所述的多倍程平面干涉角度測量系統，其特征在于：兩個所述第二直角棱鏡均與所述矩形偏振分光鏡的后端面間隔設置；兩個所述第三直角棱鏡和兩個所述直角梯形偏振分光鏡均與所述矩形偏振分光鏡的側面間隔設置。

10.根據權利要求8所述的多倍程平面干涉角度測量系統，其特征在于：兩個所述第二直角棱鏡均粘接在所述矩形偏振分光鏡的后端面；兩個所述第三直角棱鏡和兩個所述直角梯形偏振分光鏡均粘接在所述矩形偏振分光鏡的側面。