[發(fā)明專利]照明光學(xué)系統(tǒng)、曝光裝置以及物品制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810814945.5
• 申請(qǐng)日: 2018-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN109307988B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大阪升
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 中國(guó)貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 程晨

1.一種照明光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)物體進(jìn)行照明，其特征在于，具有：

第1光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)來自光源的光束進(jìn)行整形；

第2光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)來自光源的光束進(jìn)行整形；

光學(xué)積分器；

光學(xué)系統(tǒng)，將來自所述第1光學(xué)系統(tǒng)的光束和來自所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光束引導(dǎo)到所述光學(xué)積分器的入射面；以及

調(diào)整部，能夠調(diào)整第1光強(qiáng)度分布和第2光強(qiáng)度分布中的至少一方，所述第1光強(qiáng)度分布是由所述第1光學(xué)系統(tǒng)形成在所述光學(xué)積分器的入射面的光強(qiáng)度分布，所述第2光強(qiáng)度分布是由所述第2光學(xué)系統(tǒng)形成在所述光學(xué)積分器的入射面的光強(qiáng)度分布，

所述調(diào)整部通過對(duì)所述第1光學(xué)系統(tǒng)以及所述第2光學(xué)系統(tǒng)的至少一方的位置進(jìn)行調(diào)整，從而能夠調(diào)整所述第1光強(qiáng)度分布與所述第2光強(qiáng)度分布中的至少一方，

利用所述第1光學(xué)系統(tǒng)以及所述第2光學(xué)系統(tǒng)使所述第1光強(qiáng)度分布和所述第2光強(qiáng)度分布相互不同而形成所述光學(xué)積分器的入射面處的光強(qiáng)度分布，用來自所述光學(xué)積分器的光對(duì)所述物體進(jìn)行照明。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，

所述第1光學(xué)系統(tǒng)具有：

第1光學(xué)部；以及

第2光學(xué)部，在所述入射面形成與由所述第1光學(xué)部在所述光學(xué)積分器的入射面形成的光強(qiáng)度分布不同的光強(qiáng)度分布，

所述調(diào)整部通過將所述第1光學(xué)部和所述第2光學(xué)部切換地配置到光路內(nèi)，變更所述第1光強(qiáng)度分布。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，

所述第1光學(xué)部是成像光學(xué)系統(tǒng)，所述第2光學(xué)部是包括棱鏡的光學(xué)系統(tǒng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，

所述第1光學(xué)部是成像光學(xué)系統(tǒng)，所述第2光學(xué)部是光學(xué)棒。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，

所述第1光學(xué)系統(tǒng)具有光學(xué)棒，該光學(xué)棒在所述入射面形成與由所述成像光學(xué)系統(tǒng)在所述入射面形成的光強(qiáng)度分布以及由包括所述棱鏡的光學(xué)系統(tǒng)在所述入射面形成的光強(qiáng)度分布不同的光強(qiáng)度分布。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，

所述第2光學(xué)系統(tǒng)具有第3光學(xué)部，該第3光學(xué)部在所述入射面形成與由所述第1光學(xué)部以及第2光學(xué)部在所述光學(xué)積分器的入射面形成的各光強(qiáng)度分布不同的光強(qiáng)度分布。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，

所述第2光學(xué)系統(tǒng)具有：

第3光學(xué)部；以及

第4光學(xué)部，在所述入射面形成與由所述第3光學(xué)部在所述光學(xué)積分器的入射面形成的光強(qiáng)度分布不同的光強(qiáng)度分布，

所述調(diào)整部通過將所述第3光學(xué)部和所述第4光學(xué)部切換地配置到光路內(nèi)，變更所述第2光強(qiáng)度分布。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，

所述第1光學(xué)系統(tǒng)對(duì)來自第1光源的光束進(jìn)行整形，

所述第2光學(xué)系統(tǒng)對(duì)來自第2光源的光束進(jìn)行整形。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，

所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有對(duì)來自第3光源的光束進(jìn)行整形的第3光學(xué)系統(tǒng)，

所述第3光學(xué)系統(tǒng)具有變更由所述第3光學(xué)系統(tǒng)在所述光學(xué)積分器的入射面形成的第3光強(qiáng)度分布的光學(xué)部件，

將來自所述第1光學(xué)系統(tǒng)的光束和來自所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光束引導(dǎo)到所述光學(xué)積分器的入射面的光學(xué)系統(tǒng)將來自所述第1光學(xué)系統(tǒng)的光束、來自所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光束以及來自所述第3光學(xué)系統(tǒng)的光束引導(dǎo)到所述光學(xué)積分器的入射面。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，

所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有測(cè)量對(duì)所述物體進(jìn)行照明的光的角度分布的測(cè)量部，

所述調(diào)整部根據(jù)由所述測(cè)量部測(cè)量出的角度分布，調(diào)整所述第1光強(qiáng)度分布和所述第2光強(qiáng)度分布中的至少一方。