[發(fā)明專利]一種氮化硅陶瓷噴嘴及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810810657.2
• 申請日: 2018-07-23
• 公開（公告）號: CN109053193B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發(fā)明（設計）人: 周存龍;王強;郭瑞;高全宏
• 申請（專利權）人: 太原科技大學
• 主分類號: B24C5/04
• 分類號: B24C5/04;C04B35/587
• 代理公司: 北京五月天專利商標代理有限公司 11294
• 代理人: 張瑞豐

1.一種氮化硅陶瓷噴嘴的制備方法，其特征在于，所述氮化硅陶瓷噴嘴的原料組成為：氮化硅亞微米粉料65％~70％，Y₂O₃亞微米粉料5％~10％，TiC亞微米粉料5％~8％，Al₂O₃細晶粒粉料3％~5％，Li₂CO₃亞微米粉料3％~7％，ZrO₂亞微米粉料1％~3％，高嶺土2％~5％，利用SPS燒結技術進行燒結成型得到，SPS燒結的操作如下：將制備好的粉料裝入石墨模具中，粉料與模具內壁用碳紙隔開，放入SPS燒結爐中，兩段加石墨電極固定好，抽真空至20Pa以內后，燒結過程中調節(jié)上下電極升降保持壓力在25MPa，先以2℃/s的速度加熱到800℃，保溫1min，保持壓力隨爐冷卻20分鐘取出，脫去芯模，再次放到SPS燒結爐中，調節(jié)上下電極升降保持壓力在12.5MPa，以2℃/s的速度加熱到1400℃，升溫至1200℃時將壓力升至35MPa并保持，然后以0.8℃/s的速度加熱到1780℃，保溫5min進行燒結，然后保持壓力并隨爐冷卻40min后取出，脈沖輸出壓力范圍2~12V，輸出電流范圍0~5000A。

2.根據(jù)權利要求1所述的制備方法，其特征在于，預成型所用的芯模材料為模具鋼。

3.根據(jù)權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所用的原料中氮化硅為ɑ-Si₃N₄。

4.根據(jù)權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所用的原料中氮化硅的粒徑為0.8μm，以氮化硅為主原料，加入其他組分，以無水乙醇為溶劑，進行濕式球磨，使粉料混合均勻。

5.根據(jù)權利要求4所述的制備方法，其特征在于，球磨時所用的磨料是氮化硅小球。

6.根據(jù)權利要求1-5中任一項所述的制備方法制備得到的氮化硅陶瓷噴嘴。