[發明專利]用于半導體工藝的腔體蓋與頂板的組件及成膜裝置

有效

• 申請號: 201810801701.3
• 申請日: 2018-07-20
• 公開（公告）號: CN109295435B
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 楊志國
• 申請（專利權）人: 漢民科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/44;C23C14/22
• 代理公司: 中國商標專利事務所有限公司 11234
• 代理人: 宋義興;張立晶

1.一種用于半導體工藝的腔體蓋與頂板的組件，其特征在于，該組件包含：

一腔體蓋，包含一凹部；

一頂板，包含一平板部及一凸設于該平板部中央的支撐環；以及

一容納于該腔體蓋的凹部的固持機構，其包含:

一對臂部；

一對連接部，分別連接于該對臂部；

一對連桿，分別使該對連接部以相反方向移動；及

一驅動部，驅動該對連桿有相對運動；

其中當該對連接部以相反方向移動而靠近，從而該對臂部固持該支撐環。

2.根據權利要求1所述的用于半導體工藝的腔體蓋與頂板的組件，其特征在于，該固持機構另包含一具有兩個導槽的導引部，該對連接部分別沿著該導槽而以相反方向移動。

3.根據權利要求2所述的用于半導體工藝的腔體蓋與頂板的組件，其特征在于，該支撐環包含一環狀體及一設于該環狀體的一端的凸緣。

4.根據權利要求3所述的用于半導體工藝的腔體蓋與頂板的組件，其特征在于，該對臂部嵌入該環狀體及該凸緣形成的空間內以固持該支撐環。

5.根據權利要求1所述的用于半導體工藝的腔體蓋與頂板的組件，其特征在于，各該連桿的一端與該驅動部結合，當該驅動部逆時鐘或順時鐘旋轉時，則該對連接部以相反方向移動而靠近或遠離，從而該對臂部固持或釋放該支撐環。

6.一種用于半導體工藝的成膜裝置，其特征在于，包含：

一反應腔，包含一具有一凹部的腔體蓋；

一頂板，包含一于中央有一開口的平板部及一凸設于該平板部的開口的支撐環；

一容納于該腔體蓋的凹部的固持機構，其包含：

一對臂部；

一對連接部，分別連接于該對臂部；

一對連桿，分別使該對連接部以相反方向移動；及

一驅動部，驅動該對連桿有相對運動；

其中當該對連接部以相反方向移動而靠近，從而該對臂部固持該支撐環；以及

一氣體噴射器，設置于該平板部的開口中。

7.根據權利要求6所述的用于半導體工藝的成膜裝置，其特征在于，該氣體噴射器包含一氣體流道部，該氣體流道部突出于該平板部的開口及該腔體蓋外。

8.根據權利要求6所述的用于半導體工藝的成膜裝置，其特征在于，該固持機構另包含一具有兩個導槽的導引部，該對連接部分別沿著該導槽而以相反方向移動。

9.根據權利要求6所述的用于半導體工藝的成膜裝置，其特征在于，該支撐環包含一環狀體及一設于該環狀體的一端的凸緣。

10.根據權利要求9所述的用于半導體工藝的成膜裝置，其特征在于，該對臂部嵌入該環狀體及該凸緣形成的空間內以固持該支撐環。

11.根據權利要求10所述的用于半導體工藝的成膜裝置，其特征在于，各該連桿的一端與該驅動部結合，當該驅動部逆時鐘或順時鐘旋轉時，則該對連接部以相反方向移動而靠近或遠離，從而該對臂部固持或釋放該支撐環。