[發明專利]一種分光裝置

有效

• 申請號: 201810798488.5
• 申請日: 2018-07-19
• 公開（公告）號: CN110737098B
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 徐建旭;蘭艷平
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G02B27/14
• 分類號: G02B27/14
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種分光裝置，其特征在于，包括：

沿光束傳播方向依次設置的第一楔形分光鏡和第二楔形分光鏡；

其中，入射光經過所述第一楔形分光鏡后產生第一透射光；所述第一透射光經過所述第二楔形分光鏡后形成與所述入射光平行的第二透射光；

沿光束傳播方向，所述第一楔形分光鏡依次包括第一受光面和第一出光面，所述第二楔形分光鏡依次包括第二受光面和第二出光面；

其中，所述第一楔形分光鏡的所述第一出光面設置有第一擋片，所述第一擋片可以遮擋除所述第一透射光外的由所述第一出光面出射的透射光；和/或所述第二楔形分光鏡的所述第二出光面設置有第二擋片，所述第二擋片可以遮擋除所述第二透射光外的由所述第二出光面出射的透射光。

2.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述第一楔形分光鏡和所述第二楔形分光鏡的折射率相同。

3.根據權利要求2所述的分光裝置，其特征在于，沿光束傳播方向，所述第一楔形分光鏡依次包括第一受光面和第一出光面，所述第二楔形分光鏡依次包括第二受光面和第二出光面；

所述第一受光面和所述第二出光面平行，所述第一出光面和所述第二受光面平行。

4.根據權利要求3所述的分光裝置，其特征在于，所述第一楔形分光鏡與所述第二楔形分光鏡形狀相同。

5.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述第一楔形分光鏡與所述第二楔形分光鏡之間的距離可調。

6.根據權利要求5所述的分光裝置，其特征在于，還包括導軌，所述第一楔形分光鏡和/或所述第二楔形分光鏡設置于所述導軌上。

7.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述第一楔形分光鏡的所述第一受光面上設置有光學膜層，所述光學膜層具有預設的透反比。

8.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述入射光經過所述第一楔形分光鏡的所述第一受光面產生第一反射光，經所述第一出光面產生第二反射光；所述第二反射光在所述第一楔形分光鏡內多次反射后形成第三透射光；所述入射光經過所述第二楔形分光鏡的所述第二受光面產生第三反射光，經所述第二出光面產生第四反射光；所述第四反射光在所述第二楔形分光鏡內多次反射后形成第四透射光；

所述第一擋片用于遮擋所述第三透射光；

所述第二擋片用于遮擋所述第四透射光。

9.根據權利要求1-8任一項所述的分光裝置，其特征在于，還包括沿光束傳播方向依次設置的第三楔形分光鏡和第四楔形分光鏡；

所述第三楔形分光鏡和所述第四楔形分光鏡位于所述第二楔形分光鏡的第二出光面一側，且所述第三楔形分光鏡和所述第四楔形分光鏡與所述第一楔形分光鏡和第二楔形分光鏡以垂直光軸的平面呈鏡像對稱，所述第三楔形分光鏡與所述第一楔形分光鏡折射率相同，所述第四楔形分光鏡與所述第二楔形分光鏡折射率相同。

10.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述入射光入射所述第一楔形分光鏡時的入射角為45度。