[發(fā)明專利]晶片拋光裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810796570.4 | 申請日： | 2018-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN110014362A | 公開（公告）日： | 2019-07-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 崔镕 | 申請（專利權(quán)）人： | 愛思開矽得榮株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/10 | 分類號： | B24B37/10;B24B37/34;B24B57/02;B24B55/06;B24B37/30 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人： | 朱立鳴 |
| 地址： | 韓國慶*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 拋光頭部 表面板 換位件 晶片拋光裝置 漿液噴嘴 抽吸部 拋光墊 拋光晶片 拋光裝置 上表面 抽吸 附連 晶片 支承 種晶 聯(lián)接 收容 注射 | ||
本發(fā)明提供一種晶片拋光裝置，該晶片拋光裝置包括：表面板，該表面板具有附連在表面板的上表面上的拋光墊；漿液噴嘴，該漿液噴嘴構(gòu)成為向拋光墊注射漿液；至少一個拋光頭部，該拋光頭部構(gòu)成為對晶片進(jìn)行收容并且在表面板的上部旋轉(zhuǎn)；換位件，該換位件構(gòu)成為對拋光頭部進(jìn)行支承，從而在該至少一個上述拋光頭部的上部與拋光頭部相連接；以及顆粒抽吸部，該顆粒抽吸部聯(lián)接至換位件并且構(gòu)成為對在拋光晶片的期間產(chǎn)生的顆粒進(jìn)行抽吸。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種晶片拋光裝置，且特別地涉及一種對在拋光晶片期間所產(chǎn)生的顆粒進(jìn)行處理的裝置。
背景技術(shù)
硅晶片的制造工序包括：單晶體生長工序，該單晶體生長工序用于制造單晶體錠塊；切片工序，該切片工序通過對單晶體錠塊進(jìn)行切片來獲得薄盤狀的晶片；邊緣磨削工序，該邊緣磨削工序用于對晶片的外周部分進(jìn)行機加工，以防止由上述切片工序獲得的晶片發(fā)生開裂和變形；精磨工序，該精磨工序用于去除由于機械加工而殘留在晶片上的損壞；拋光工序，該拋光工序用于對晶片進(jìn)行鏡面拋光；以及清潔工序，該清潔工序用于去除殘留物或附著于晶片的異物。
在上述工序中，可以經(jīng)由多個步驟并且通過晶片拋光裝置來執(zhí)行晶片拋光工序。
圖1是通常的晶片拋光裝置的立體圖，圖2作為圖1的剖視圖示出了對在拋光晶片期間所產(chǎn)生的顆粒進(jìn)行處理的工序。
如圖1所示，通常的晶片拋光裝置可以包括：表面板11，在該表面板11上附連有拋光墊13；拋光頭部21，該拋光頭部21構(gòu)成為包圍晶片W并且在表面板11上旋轉(zhuǎn)；以及漿液噴嘴30，該漿液噴嘴30構(gòu)成為向拋光墊13提供漿液S。
在拋光工序期間，表面板11可以通過表面板轉(zhuǎn)軸12進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，拋光頭部21可以在與拋光墊13緊密接觸的狀態(tài)下通過頭部轉(zhuǎn)軸22進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。此時，由漿液噴嘴30提供的漿液S可以在向位于拋光頭部21上的晶片W滲透的同時將晶片W拋光成鏡面拋光面。
如圖2所示，在通過晶片拋光裝置對晶片W進(jìn)行拋光的期間可能會產(chǎn)生顆粒并且顆粒可能會散布到空氣中。特別地，在對晶片W進(jìn)行精細(xì)拋光的最終拋光(FP)工序中，可能會產(chǎn)生更多的細(xì)微顆粒P。
如上所述，由于在晶片拋光工序的期間產(chǎn)生的顆粒P被吸附到晶片W上，從而在拋光晶片的期間在晶片W上產(chǎn)生細(xì)微的臺階差，進(jìn)而使拋光質(zhì)量變差，也就是說，產(chǎn)生了拋光引起的缺陷(PID)，因此，需要在晶片拋光工序期間或在晶片拋光工序之后去除顆粒P。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種晶片拋光裝置，該晶片拋光裝置能夠在拋光工序期間或拋光工序之后將在晶片拋光工序中產(chǎn)生的顆粒有效地去除，從而改善晶片拋光質(zhì)量。
本發(fā)明提供一種晶片拋光裝置，該晶片拋光裝置包括：表面板，該表面板具有附連在表面板的上表面上的拋光墊；漿液噴嘴，該漿液噴嘴構(gòu)成為向拋光墊注射漿液；至少一個拋光頭部，該拋光頭部構(gòu)成為對晶片進(jìn)行收容并且在表面板的上部處旋轉(zhuǎn)；換位件(index)，該換位件構(gòu)成為對拋光頭部進(jìn)行支承，以在該至少一個拋光頭部的上部與拋光頭部相連接；以及顆粒抽吸部，該顆粒抽吸部聯(lián)接至該換位件并且構(gòu)成為對在拋光晶片的期間產(chǎn)生的顆粒進(jìn)行抽吸。
顆粒抽吸部可以被配置成包圍該至少一個拋光頭部的外周面。
上述顆粒抽吸部的兩個端部可以配置成彼此間隔開，以將漿液噴嘴插入它們之間。
上述顆粒抽吸部可以包括：主體，該主體聯(lián)接至該換位件，以包圍拋光頭部的外周面；引導(dǎo)件，該引導(dǎo)件具有抽吸孔，并且配置于主體的下部；以及氣泵，該氣泵安裝于換位件處并且構(gòu)成為通過上述引導(dǎo)件抽吸顆粒。
可以在主體和引導(dǎo)件的內(nèi)側(cè)形成與抽吸孔連通并且供所抽吸的顆粒流過的流路。
該引導(dǎo)件具有向下方而逐漸變尖銳的形狀。
該抽吸孔可以具有以與拋光頭部相鄰的方式沿引導(dǎo)件的內(nèi)周面配置得較長的狹槽形狀。
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