[發明專利]膜框架、顯示基板制造系統和顯示基板制造方法

在審

• 申請號: 201810794958.0
• 申請日: 2018-07-19
• 公開（公告）號: CN109388019A
• 公開（公告）日: 2019-02-26
• 發明（設計）人: 金東昱;李柱鉉;金炳相;樸景彬;孫沂周;劉灝
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王新華

本公開提供了一種膜框架、用于制造顯示基板的系統以及制造顯示基板的方法，該膜框架包括：一對框架邊緣，在第一方向上縱向地延伸并彼此相對地布置；固定端夾具，連接到所述一對框架邊緣并在垂直于第一方向的第二方向上縱向地延伸；以及在所述一對框架邊緣之間的自由端夾具，該自由端夾具在第二方向上縱向地延伸并配置為與所述一對框架邊緣可拆卸地聯接，其中固定端夾具包括在第二方向上縱向地延伸的第一磁性固定器以及在第一磁性固定器上的第二磁性固定器，自由端夾具包括在第二方向上縱向地延伸的第三磁性固定器和在第三磁性固定器上的第四磁性固定器。

技術領域

實施方式涉及一種膜框架以及用于制造顯示基板的方法和系統。

背景技術

壓印技術是用于制造半導體器件的光刻技術中的一種。根據壓印技術，不平坦圖案可以通過使用模具(例如壓印膜)作為原板形成在基板(諸如硅基板或玻璃基板)上，精細的不平坦圖案形成在該模具處。

發明內容

實施方式可以通過提供一種配置為裝載有壓印膜的膜框架來實現，該膜框架包括：一對框架邊緣，在第一方向上縱向地延伸并彼此相對地布置；固定端夾具(fixed endclamp)，連接到所述一對框架邊緣并在垂直于第一方向的第二方向上縱向地延伸；以及在所述一對框架邊緣之間的自由端夾具(free end clamp)，該自由端夾具在第二方向上縱向地延伸并配置為與所述一對框架邊緣可拆卸地聯接，其中該固定端夾具包括在第二方向上縱向地延伸的第一磁性固定器以及在第一磁性固定器上的第二磁性固定器，并且自由端夾具包括在第二方向上縱向地延伸的第三磁性固定器和在第三磁性固定器上的第四磁性固定器。

實施方式可以通過提供一種用于制造顯示基板的系統來實現，該系統包括：膜裝載平臺；膜框架，配置為在膜裝載平臺處裝載有壓印膜；壓印平臺，配置為通過使用壓印膜在顯示基板上執行壓印工藝；以及傳送器，配置為在膜裝載平臺與壓印平臺之間移動膜框架，其中膜裝載平臺包括具有至少兩對相對邊緣的平坦的膜裝載卡盤；以及與第一邊緣相鄰的粘合輥和模具，該第一邊緣是膜裝載卡盤的所述至少兩對相對邊緣中的一對。

實施方式可以通過提供一種制造顯示基板的方法來實現，該方法包括：提供膜框架到膜裝載平臺；提供壓印膜到膜裝載平臺；使壓印膜與膜框架對準；將壓印膜固定到膜框架；以及將壓印膜壓印在顯示基板上，其中提供壓印膜包括通過使用彈力從壓印膜分離保護膜。

附圖說明

通過參照附圖詳細描述示范性實施方式，各特征對于本領域普通技術人員來說將是顯然的，附圖中：

圖1示出根據一些實施方式的用于制造顯示基板的系統的方框圖；

圖2示出根據一些實施方式的膜裝載平臺的平面圖；

圖3A和圖3B示出沿著圖2的線I-I'截取的截面圖；

圖3C示出用于描述根據一些實施方式的保護膜分離的曲線圖；

圖4示出沿著圖2的線II-II'截取的截面圖；

圖5A示出根據一些實施方式的膜框架的分解透視圖；

圖5B示出根據一些實施方式的膜框架的透視圖；

圖5C示出沿著圖5B的線III-III'截取的截面圖；

圖6A至圖6C示出根據一些實施方式的膜框架的透視圖；

圖7A至圖7C示出根據一些實施方式的膜框架的截面圖；

圖8A和圖8B示出根據一些實施方式的壓印階段的平面圖；以及

圖9示出根據一些實施方式的制造顯示基板的方法的流程圖。

具體實施方式

圖1示出根據一些實施方式的用于制造顯示基板的系統1000的方框圖。