[發明專利]切削裝置和電極端子組件

有效

• 申請號: 201810794674.1
• 申請日: 2018-07-19
• 公開（公告）號: CN109278205B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 橋本博公
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D1/24;B28D7/02;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

提供切削裝置和電極端子組件，實現電極端子更換時的作業性的提高。具有對切削刀具相對于卡盤工作臺的切入方向的原點位置進行檢測的原點檢測機構(70)，原點檢測機構具有：電極端子(74)，其與轉子(262)的端面(262A)對置而插入至主軸殼體的蓋(71)中，與端面(262A)抵接；按壓彈簧(75)，其將電極端子(74)按壓至端面(262A)；以及導電性彎折板(76)，其具有將按壓彈簧(75)卡定的卡定部(76A)和插入部(76B)，在蓋(71)上形成有供電極端子(74)隔著按壓彈簧(75)而插入的插入孔(72)，并且形成有供導電性彎折板(76)的插入部(76B)插入的卡定槽(73)，在卡定槽(73)形成有對所插入的導電性彎折板(76)進行保持的止動部(78)。

技術領域

本發明涉及具有原點檢測機構的切削裝置和設置于原點檢測機構的電極端子組件，該原點檢測機構對切削刀具相對于保持工作臺的切入方向的原點位置進行檢測。

背景技術

半導體晶片或玻璃基板等被加工物例如通過具有旋轉的圓環狀的切削刀具的切削裝置沿著間隔道進行切削而分割成多個芯片。該切削裝置具有：卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；切削單元，其具有對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行切削的切削刀具；以及原點檢測機構，其用于對作為設定切削刀具的切入量的基準的切削刀具的原點位置進行檢測(例如，參照專利文獻1)。這種原點檢測機構構成為具有：主軸，其安裝有切削刀具；主軸殼體，其將該主軸支承為能夠旋轉；支托，其與主軸的端面對置而安裝在主軸殼體上；以及作為電極端子的碳刷片，其被收納在設置于該支托的引導孔中，對主軸的端面進行彈簧施力。

專利文獻1：日本實開平7-10552號公報

該碳刷片始終被按壓于主軸的端面而接觸，碳刷片的磨損劇烈，需要定期的更換。但是，在現有的結構中，碳刷與按壓彈簧一起被收納在形成于支托的引導孔中，該支托以螺釘固定的方式固定于主軸殼體，因此碳刷的更換作業繁雜，迫切希望提高作業性。

發明內容

本發明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供實現提高電極端子更換時的作業性的切削裝置和電極端子組件。

為了解決上述課題實現目的，本發明是切削裝置，其具有：保持工作臺，其對被加工物進行保持；切削單元，其具有對該保持工作臺所保持的被加工物進行切削的切削刀具和在一端安裝有該切削刀具的主軸；以及原點檢測機構，其使該切削刀具與該保持工作臺接觸而通過電導通對該切削刀具相對于該保持工作臺的切入方向的原點位置進行檢測，其中，該原點檢測機構具有：電極端子，其與該主軸的另一端側的端面對置地插入至將該主軸支承為能夠旋轉的殼體中，該電極端子具有與該端面抵接的抵接面；按壓彈簧，其由導電性材料制成，將該電極端子按壓至該端面；以及導電性彎折板，其具有將該按壓彈簧卡定的卡定部，并具有與該卡定部一體地形成并且向該電極端子側彎折的插入部，該殼體中形成有供該電極端子隔著該按壓彈簧而插入的插入孔，并且形成有供該導電性彎折板的該插入部插入的接納部，在該接納部中形成有對所插入的該導電性彎折板進行保持的止動部，由此，通過將該導電性彎折板插入至該殼體而在使該電極端子與該端面抵接的狀態下進行固定。

根據該結構，能夠從殼體的外側借助導電性彎折板相對于殼體進行電極端子和按壓彈簧的插拔。因此，無需像以往那樣連同對電極端子進行保持的支托一起從殼體取下的作業，能夠容易地進行電極端子的更換，能夠實現更換時的作業性的提高。

另外，也可以是，在導電性彎折板形成有供作業者把持的把持部。根據該結構，能夠對把持部進行把持而將導電性彎折板、電極端子和按壓彈簧從殼體拔出，從而能夠容易進行電極端子的取下。

另外，也可以是，止動部由導電性部件構成，該導電性彎折板的該插入部插入至該接納部而構成基于該原點檢測機構的原點檢測電路。根據該結構，止動部將導電性彎折板的插入部保持于接納部，并且作為原點檢測電路的一部分發揮功能，因此能夠實現裝置結構的簡化。