[發(fā)明專(zhuān)利]基板載具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810791301.9
• 申請(qǐng)日: 2018-07-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110610885B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘詠晉;劉維虔;邱銘乾
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 家登精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 深圳市舜立知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44335
• 代理人: 侯藝

本發(fā)明公開(kāi)了一種基板載具，包括：具有一容置空間與一開(kāi)口的盒體；兩基板收納模塊，設(shè)置于容置空間內(nèi)的兩側(cè)。每一基板收納模塊各包括：復(fù)數(shù)個(gè)隔板，每一復(fù)數(shù)個(gè)隔板間有一間距，且每一復(fù)數(shù)個(gè)隔板間彼此平行；復(fù)數(shù)個(gè)第一連接柱，每一復(fù)數(shù)個(gè)第一連接柱各設(shè)置于每一復(fù)數(shù)個(gè)隔板靠近開(kāi)口的一前側(cè)角，每一復(fù)數(shù)個(gè)第一連接柱彼此相接；以及復(fù)數(shù)個(gè)第二連接柱，每一復(fù)數(shù)個(gè)第二連接柱各設(shè)置于每一復(fù)數(shù)個(gè)隔板遠(yuǎn)離開(kāi)口的一后側(cè)角，每一復(fù)數(shù)個(gè)第二連接柱彼此相接。每一復(fù)數(shù)個(gè)第二連接柱各包括一拍狀結(jié)構(gòu)，且前側(cè)角與后側(cè)角位于復(fù)數(shù)個(gè)隔板的一對(duì)角線(xiàn)上。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明公開(kāi)了一種基板載具，尤指一種能透過(guò)模塊化結(jié)構(gòu)承載基板的基板載具。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體組件是一種需要極高精密度的組件結(jié)構(gòu)，因此任何缺陷或是粒子的附著對(duì)于半導(dǎo)體組件的良率將造成極大的影響，有鑒于此，須確保半導(dǎo)體制程中組件的運(yùn)送為一安全且無(wú)塵的程序，而晶圓盒便成為一種半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中用來(lái)承載與運(yùn)送晶圓，防止晶圓碰撞毀損或污損發(fā)生的簡(jiǎn)便工具。

其中，前開(kāi)式晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pod,FOUP)為晶圓傳送盒一種常用的型態(tài)，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)為于盒體的側(cè)面設(shè)置一開(kāi)口，并于盒體內(nèi)設(shè)置多個(gè)插槽，使晶圓可放置于插槽中，并方便操作者經(jīng)由側(cè)面的開(kāi)口取用。而前開(kāi)式晶圓傳送盒更有另一種于基板上的應(yīng)用，藉由改良盒體內(nèi)部插槽的形狀，原本的前開(kāi)式晶圓傳送盒改良成為一種基板載具。

在已知的基板載具中，并未設(shè)置有基板位置的指示機(jī)構(gòu)，供操作者確認(rèn)所基板已放置在插槽中正確的位置上，也未有基板放置位置的回饋機(jī)構(gòu)，往往造成操作者使用上的不便。此外，將基板放置進(jìn)入基板載具中時(shí)，常常容易因摩擦而產(chǎn)生微小粒子，造成基板的污染，無(wú)法有效的達(dá)到保護(hù)基板的用途。

發(fā)明內(nèi)容

為解決先前技術(shù)中所提及的課題，本發(fā)明提供了一種基板載具，包括：一盒體，包括一容置空間、一后板、一底板與一開(kāi)口；兩基板收納模塊，設(shè)置于容置空間內(nèi)的兩側(cè)，每一基板收納模塊各包括：復(fù)數(shù)個(gè)隔板，每一復(fù)數(shù)個(gè)隔板間有一間距，且每一復(fù)數(shù)個(gè)隔板間彼此平行；復(fù)數(shù)個(gè)第一連接柱，每一復(fù)數(shù)個(gè)第一連接柱各設(shè)置于每一復(fù)數(shù)個(gè)隔板靠近開(kāi)口的一前側(cè)角，每一復(fù)數(shù)個(gè)第一連接柱彼此相接；以及復(fù)數(shù)個(gè)第二連接柱，每一復(fù)數(shù)個(gè)第二連接柱各設(shè)置于每一復(fù)數(shù)個(gè)隔板遠(yuǎn)離開(kāi)口的一后側(cè)角，每一復(fù)數(shù)個(gè)第二連接柱彼此相接；其中每一復(fù)數(shù)個(gè)第二連接柱各包括一拍狀結(jié)構(gòu)，且前側(cè)角與后側(cè)角位于復(fù)數(shù)個(gè)隔板的一對(duì)角線(xiàn)上。

以上對(duì)本發(fā)明的簡(jiǎn)述，目的在于對(duì)本發(fā)明的數(shù)種面向和技術(shù)特征作一基本說(shuō)明。發(fā)明簡(jiǎn)述并非對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)表述，因此其目的不在特別列舉本發(fā)明的關(guān)鍵性或重要組件，也不是用來(lái)界定本發(fā)明的范圍，僅為以簡(jiǎn)明的方式呈現(xiàn)本發(fā)明的數(shù)種概念而已。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖示出的結(jié)構(gòu)獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例基板載具的整體結(jié)構(gòu)圖；

圖2為本發(fā)明其一實(shí)施例的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖；

圖3為本發(fā)明其一實(shí)施例的內(nèi)部部份結(jié)構(gòu)側(cè)面放大圖；

圖4為本發(fā)明其一實(shí)施例的內(nèi)部部份結(jié)構(gòu)俯視圖；

圖5為本發(fā)明其一實(shí)施例的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖；

圖6為本發(fā)明其一實(shí)施例的中央支撐模塊拆解示意圖；

圖7為本發(fā)明其一實(shí)施例的中央支撐模塊示意圖；

圖8為本發(fā)明其一實(shí)施例承載基板的狀態(tài)示意圖；

圖9為本發(fā)明其一實(shí)施例的投影區(qū)示意圖；

圖10是本發(fā)明其一實(shí)施例的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)示意圖。