[發明專利]一種絕緣材料管道內壁鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201810788376.1
• 申請日: 2018-07-18
• 公開（公告）號: CN108559960B
• 公開（公告）日: 2023-09-22
• 發明（設計）人: 施戈;李長棟;田琳;夏虎;謝實洋
• 申請（專利權）人: 北京泰科諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/04
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 王戈

1.一種絕緣材料管道內壁鍍膜裝置，其特征在于，包括：二級濺射電極和旋轉設備；所述二級濺射電極的陰極靶材沿軸向穿設在待鍍膜絕緣材料管道內，所述旋轉設備與所述待鍍膜絕緣材料管道的一端固定連接，所述旋轉裝置帶動所述待鍍膜絕緣材料管道進行旋轉運動；所述二級濺射電極與所述旋轉設備均設置在真空設備內，所述真空設備用于使所述裝置處于真空環境；所述待鍍膜絕緣材料管道的內徑小于50mm，長度大于100mm。

2.根據權利要求1所述的一種絕緣材料管道內壁鍍膜裝置，其特征在于，所述旋轉設備包括調速電機、主傳動齒輪和從傳動齒輪；所述調速電機的密封傳動軸上設置所述主傳動齒輪，所述從傳動齒輪與所述主傳動齒輪對應設置；所述二級濺射電極沿軸向穿設在所述主傳動齒輪的中央位置，所述從傳動齒輪與所述待鍍膜絕緣材料管道的一端固定連接；所述從傳動齒輪、所述二級濺射電極和所述待鍍膜絕緣材料管道同軸設置；所述從傳動齒輪、所述二級濺射電極和所述調速電機均與真空設備的底板固定。

3.根據權利要求2所述的一種絕緣材料管道內壁鍍膜裝置，其特征在于，所述裝置還包括主傳動軸承；所述主傳動軸承與所述主傳動齒輪固定連接，用于對所述主傳動齒輪進行支撐和定位。

4.根據權利要求3所述的一種絕緣材料管道內壁鍍膜裝置，其特征在于，所述裝置還包括絕緣支撐座，所述絕緣支撐座與所述主傳動軸承固定連接，用于對所述主傳動軸承進行支撐和定位。

5.根據權利要求4所述的一種絕緣材料管道內壁鍍膜裝置，其特征在于，所述裝置還包括絕緣板，所述絕緣板分別與所述絕緣支撐座和所述底板固定，用于使所述絕緣支撐座和所述真空設備之間絕緣。

6.根據權利要求5所述的一種絕緣材料管道內壁鍍膜裝置，其特征在于，所述絕緣板分別與所述絕緣支撐座和所述底板通過螺釘固定。

7.根據權利要求5所述的一種絕緣材料管道內壁鍍膜裝置，其特征在于，所述二級濺射電極穿過所述絕緣板的中心，且與所述底板通過螺釘固定。

8.根據權利要求1所述的一種絕緣材料管道內壁鍍膜裝置，其特征在于，所述裝置還包括電壓源；所述二級濺射電極的陰極靶材與所述電壓源連接，所述電壓源的電壓大于2000V。