[發明專利]一種差分雙諧振器型聲波壓力傳感器

在審

• 申請號: 201810778687.X
• 申請日: 2018-07-16
• 公開（公告）號: CN108871627A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 牟笑靜;陳俊霏;竇韶旭;尚正國
• 申請（專利權）人: 重慶大學
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16
• 代理公司: 重慶雙馬智翔專利代理事務所(普通合伙) 50241
• 代理人: 顧曉玲

1.一種差分式雙諧振器型聲波壓力傳感器，其特征在于，包括襯底(1)及在其上形成的底電極(2)，在所述底電極(2)下的襯底(1)內設置有兩個獨立且結構參數相同的敞開或密封的腔室，第一腔室之上的底電極(2)上依次形成有壓電層(3)和第一諧振器(4)，第二腔室之上的底電極(2)上依次形成有壓電層(3)和第二諧振器(5)。

2.根據權利要求1所述的差分雙諧振器型聲波壓力傳感器，其特征在于，所述襯底(1)的材料為硅或SOI。

3.根據權利要求1所述的差分式雙諧振器型聲波壓力傳感器，其特征在于，所述腔室分別為矩形腔，矩形腔之上為硅基矩形薄膜；

在所述硅基矩形薄膜上生成底電極(2)。

4.根據權利要求1所述的差分式雙諧振器型聲波壓力傳感器，其特征在于，兩個矩形腔垂直或者平行，當兩個矩形腔垂直時，其上的兩個諧振器相互平行；當兩個矩形平行時，其上的兩個諧振器相互垂直。

5.根據權利要求1或4所述的差分式雙諧振器聲波壓力傳感器，其特征在于，第一諧振器(4)和第二諧振器(5)中，任一諧振本身與另一諧振器及其延伸線不想交，兩個諧振器各自的聲波傳播方向不通過對方諧振器區域。

6.根據權利要求5所述的差分式雙諧振器聲波壓力傳感器，其特征在于，第一諧振器(4)和第二諧振器(5)相互垂直。

7.根據權利要求5所述的差分式雙諧振器型聲波壓力傳感器，其特征在于，第一諧振器(4)的聲波傳播方向與其下的第一矩形硅基薄膜(6)的長邊平行；

第二諧振器(5)的聲波傳播方向與其對應的第二矩形硅基薄膜(7)的長邊垂直。

8.根據權利要求1所述的差分式雙諧振器型聲波壓力傳感器，其特征在于，所述第一諧振器(4)和第二諧振器(5)同時為單端對或同時為雙端對的聲波諧振器。

9.根據權利要求1所述的差分式雙諧振器型聲波壓力傳感器，其特征在于，還具有輸出端，所述輸出端輸出信號為第一諧振器(4)和第二諧振器(5)輸出信號的差分。