[發明專利]一種半導體激光器及制作方法有效
| 申請號： | 201810763803.0 | 申請日： | 2018-07-12 |
| 公開（公告）號： | CN108899760B | 公開（公告）日： | 2020-06-09 |
| 發明（設計）人： | 佟存柱;王延靖;張新;舒世立;汪麗杰;田思聰;王立軍 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | H01S5/065 | 分類號： | H01S5/065 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 130033 吉林省長春*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體激光器 制作方法 | ||
1.一種半導體激光器，其特征在于，所述半導體激光器包括：
外延層結構，所述外延層結構劃分為第一區域和第二區域；
設置在所述第一區域和所述第二區域之間的電隔離區；
設置在所述第一區域的第一波導結構；
設置在所述第二區域的第二波導結構，所述第二波導結構的側壁為鋸齒形狀；
設置在所述第二區域背離所述第一區域一側的準直透鏡；
設置在所述準直透鏡背離所述外延層結構一側的輸出耦合鏡；
其中，所述第二波導結構側壁的鋸齒形狀結構和所述輸出耦合鏡形成一個諧振腔，所述外延層結構背離所述準直透鏡的一端面和相鄰所述準直透鏡的一端面形成另一個諧振腔，這兩個諧振腔組合成了耦合腔，實現了高階的諧波鎖模。
2.根據權利要求1所述的半導體激光器，其特征在于，所述第一波導結構為矩形波導或梯形波導或三角形波導或半圓形波導。
3.根據權利要求1所述的半導體激光器，其特征在于，所述第二波導結構為條形波導或脊形波導或錐形波導或掩埋波導或光子晶體波導。
4.根據權利要求1所述的半導體激光器，其特征在于，所述鋸齒形狀為三角形鋸齒形狀或矩形鋸齒形狀或楔形鋸齒形狀。
5.根據權利要求1所述的半導體激光器，其特征在于，所述第二波導結構的材料為量子阱材料或量子點材料或量子線材料。
6.根據權利要求1所述的半導體激光器，其特征在于，所述準直透鏡為球面鏡或非球面鏡。
7.根據權利要求1所述的半導體激光器，其特征在于，所述輸出耦合鏡的反射率范圍為5％-98％，包括端點值。
8.根據權利要求1所述的半導體激光器，其特征在于，所述第一波導結構背離所述電隔離區的一端設置有反射率大于90％的高反射膜。
9.根據權利要求1所述的半導體激光器，其特征在于，所述第二波導結構背離所述電隔離區的一端設置有反射率小于5％的增透膜。
10.一種半導體激光器的制作方法，其特征在于，用于制作上述如權利要求1-9任一項所述的半導體激光器，所述制作方法包括：
提供一外延層結構，所述外延層結構劃分為第一區域和第二區域；
對所述外延層結構進行刻蝕，在所述第一區域和所述第二區域之間形成電隔離區；
對所述第一區域進行刻蝕，形成第一波導結構；
對所述第二區域進行刻蝕，形成第二波導結構，所述第二波導結構的側壁為鋸齒形狀；
在所述第二區域背離所述第一區域的一側設置準直透鏡；
在所述準直透鏡背離所述外延層結構的一側設置輸出耦合鏡；
其中，所述第二波導結構側壁的鋸齒形狀結構和所述輸出耦合鏡形成一個諧振腔，所述外延層結構背離所述準直透鏡的一端面和相鄰所述準直透鏡的一端面形成另一個諧振腔，這兩個諧振腔組合成了耦合腔，實現了高階的諧波鎖模。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所，未經中國科學院長春光學精密機械與物理研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810763803.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
