[發(fā)明專利]一種基于氧化鉬微米帶/氧化鎳納米材料異質(zhì)結(jié)構(gòu)的紫外/可見(jiàn)光響應(yīng)器件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810761882.1
• 申請(qǐng)日: 2018-07-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109087960A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于乃森;陳向豐;齊巖;趙海燕;苑青;董斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大連民族大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L31/032
• 分類號(hào): H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/109;H01L31/18;B82Y30/00;B82Y40/00
• 代理公司: 大連一通專利代理事務(wù)所(普通合伙) 21233
• 代理人: 郭麗華

1.一種基于氧化鉬微米帶/氧化鎳納米材料異質(zhì)結(jié)構(gòu)的紫外/可見(jiàn)光響應(yīng)器件，其特征在于：其是由Si襯底，SiO₂絕緣層、氧化鉬微米帶、NiO納米片狀結(jié)構(gòu)以及分別與氧化鉬微米帶和NiO納米片狀結(jié)構(gòu)接觸的Ag膠組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于基于氧化鉬微米帶/NiO納米材料異質(zhì)結(jié)構(gòu)的紫外/可見(jiàn)光響應(yīng)器件，其特征在于：所述器件結(jié)構(gòu)自下而上依次為Si襯底、SiO₂絕緣層、氧化鉬微米帶、NiO納米片狀結(jié)構(gòu)以及分別與氧化鉬微米帶和NiO納米片狀結(jié)構(gòu)接觸的Ag膠組成。

3.權(quán)利要求1的基于基于氧化鉬微米帶/NiO納米結(jié)構(gòu)的紫外/可見(jiàn)光響應(yīng)器件的制備方法，其特征在于：

①以Si片為襯底，首先采用熱氧化法生長(zhǎng)SiO₂絕緣層薄膜，其厚度為300nm；

②采用氣相輸運(yùn)法生長(zhǎng)氧化鉬微米帶，稱取10克鉬酸銨(NH₄)6MO₇O₂4·4H₂O放在氧化鋁坩堝，置于加熱爐中加熱，以60℃/分鐘升溫至1250℃，并保溫1小時(shí)。生長(zhǎng)中保持爐門(mén)有3-4毫米的自由空間，便于氣流輸運(yùn)，最后在低溫區(qū)域收集MoO3微米帶，其長(zhǎng)度為100-200μm；

③將步驟②得到的MoO₃置于顯微鏡下，用鑷子提取單根MoO₃，置于步驟①中生長(zhǎng)有SiO₂薄膜的Si片表面，同時(shí)一端用導(dǎo)電Ag膠固定，將所得樣品置于加熱臺(tái)，在150℃條件下加熱15分鐘使Ag膠固化；

④將0.62g乙酸鎳溶于50ml乙醇，制得籽晶溶液；將表面有Ag膠固定的MoO₃的Si襯底置于旋涂機(jī)上，將籽晶溶液滴于表面，靜置5分鐘按照2500轉(zhuǎn)/分轉(zhuǎn)速進(jìn)行旋涂，旋涂時(shí)間為5min，隨后將生長(zhǎng)有籽晶的襯底置于快速加熱臺(tái)，在200℃條件下快速加熱15分鐘后，隨后自然冷卻到室溫；

⑤將0.85g硝酸鎳和0.70g六次甲基四胺溶于100ml水，快速攪拌均勻，制得混合溶液；

⑥將生長(zhǎng)有籽晶的有Ag膠固定的MoO₃的Si襯底浸入步驟⑤混合溶液中，于90℃溫度反應(yīng)5小時(shí)，反應(yīng)結(jié)束取出所得Si襯底并用水洗滌，晾干；

⑦將步驟⑥得到的樣品置于顯微鏡下，在生長(zhǎng)有NiO材料一端，用導(dǎo)電Ag膠固定，最后將所得樣品置于加熱臺(tái)，在150℃條件下加熱15分鐘使Ag膠固化。