[發明專利]制程配方監控方法及制程配方監控系統

在審

• 申請號: 201810756412.6
• 申請日: 2018-07-11
• 公開（公告）號: CN110135791A
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 蕭郁倫
• 申請（專利權）人: 亞智科技股份有限公司
• 主分類號: G06Q10/10
• 分類號: G06Q10/10;G06Q50/04
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 程殿軍

一種制程配方監控方法，包括以下步驟：接收使用者設備的連線請求；接收使用者設備的回溯命令，包括以下步驟：判斷使用者設備是否能執行回溯模式；進入鎖定狀態，以限制僅供使用者設備控制資料庫與配方描述資料庫；依據目標主版本資料的目標次配方項目與目標次配方數值，復原目前配方檔中目前配方檔中相對應的次配方項目與次配方數值；記錄經回溯后的目前配方檔中主版本版次資料與各次配方版本資料；存取經回溯后的目前配方檔至資料庫。此外，一種制程配方監控系統亦被提出。

技術領域

本發明是有關于一種制程配方監控方法與制程配方監控系統，且特別是有關于一種可彈性調整配方項目的監控方法與監控系統。

背景技術

隨著制程技術的進步，制程產品的品質不僅取決于制程程式，機臺狀況的好壞與否也是其中關鍵的一環。機臺能以特定的管控條件(control rule)設定達成特定機臺生產特定產品的目的，于基板處理裝置中，通常系以配方檔來設定機臺的制造流程與制造條件。然而，習用PLC控制的機臺(使用者設備)的配方檔系設定固定的管控條件給予單一產品生產使用，故缺乏彈性，無法針對制程產品特性加入或修改新的控制規則及參數調整。此外，機臺配方的控管通常在人機界面(使用者設備)所提供的功能限制下，管制范圍并不彈性，一旦輸入錯誤的制程控制條件，并無回復機制讓機臺復原到先前某一個特定版本的配方檔。再者，每個版本的配方檔內包含數個配方項目及其相應的配方數值，于目前的機制之下，并無回復機制讓配方檔在某一個版本中，針對某一個特定配方項目及其相對應的配方數值單獨進行復原，更甚者，若于不同版本的配方檔的配方項目若有增減而有不一致的狀況，也無法較為彈性地供操作者回復所需求的配方檔。

因此，如何改良并能提供一種『制程配方監控方法及制程配方監控系統』來避免上述所遭遇到的問題，系業界所亟待解決的課題。

發明內容

本發明的一目的在于，可供使用者回溯至所需求的特定配方檔，提升制程配方使用上的彈性。

本發明的一實施例提出一種制程配方能被執行監控方法，包括以下步驟：接收一使用者設備的連線請求；以及接收使用者設備的一回溯命令，包括以下步驟：判斷是否能執行一回溯模式；進入一鎖定狀態，以限制僅供使用者設備控制一資料庫與一配方描述資料庫，其中資料庫中一目前配方檔包含一主版本版次資料與數個次配方資料，各次配方資料包含一次配方項目、一次配方版本資料與一次配方數值，配方描述資料庫包含一配方規則描述檔，依據配方規則描述檔執行目前配方檔；依據一目標主版本資料的數個目標次配方項目與數個目標次配方數值，復原目前配方檔中相對應的次配方項目與次配方數值；記錄經回溯后的目前配方檔中主版本版次資料與各次配方版本資料；及存取經回溯后的目前配方檔至資料庫。

本發明的一實施例提出一種制程配方監控系統，制程配方監控系統包括一資料處理單元以及一配方資料單元。資料處理單元系接收一使用者設備的連線請求。配方資料單元連接于資料處理單元，配方資料單元包含一資料庫、一配方描述資料庫與一回溯模組，資料庫包含一目前配方檔，目前配方檔包含一主版本版次資料與數個次配方資料，各次配方資料包含一次配方項目、一次配方版本資料與一次配方數值，配方描述資料庫包含一配方規則描述檔，依據配方規則描述檔執行目前配方檔。資料處理單元接收一回溯命令時，資料處理單元判斷是否能執行一回溯模式，若是，資料處理單元對配方資料單元進入一鎖定狀態，以限制使用者設備控制資料庫與配方描述資料庫。依據一目標主版本資料的數個目標次配方項目與數個目標次配方數值，回溯模組復原目前配方檔中相對應的次配方項目與次配方數值，且資料處理單元記錄經回溯后的目前配方檔中主版本版次資料與各次配方版本資料，并存取經回溯后的目前配方檔至資料庫。

基于上述，在本發明的制程配方監控方法與制程配方監控系統中，可將目前配方檔回溯到先前某一個特定版本的配方檔，以復原目前配方檔中特定或全部的次配方項目與相對應的次配方數值，藉此提升制程配方使用上的彈性。