[發明專利]一種用于測量氣體相對濕度的數字頻率式濕度傳感器有效
| 申請號： | 201810756269.0 | 申請日： | 2018-07-11 |
| 公開（公告）號： | CN108896623B | 公開（公告）日： | 2020-01-31 |
| 發明（設計）人： | 陳向東;丁星 | 申請（專利權）人： | 西南交通大學 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12;G01N27/22 |
| 代理公司： | 51268 成都虹盛匯泉專利代理有限公司 | 代理人： | 王偉 |
| 地址： | 610031 四川省*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濕度傳感器 數字頻率 敏感電極 傳感器 測量 石英晶體諧振器 電學特性變化 振蕩頻率變化 頻率計數器 調頻特性 振蕩頻率 直接轉換 靈敏度 阻抗 靈敏 數字化 采集 輸出 計算機 | ||
1.一種用于測量氣體相對濕度的數字頻率式濕度傳感器，其特征在于，包括：敏感電極、石英晶體諧振器以及振蕩器；敏感電極第一端與振蕩器第一端相連，振蕩器第二端與石英晶體諧振器第一端相連，所述石英晶體諧振器第二端與敏感電極第二端相連；所述振蕩器的第二端作為數字頻率式濕度傳感器的輸出端；
所述敏感電極從下到上依次包括襯底、制作于襯底上的微電極以及制備于微電極上的氧化石墨烯量子點薄膜；
所述數字頻率式濕度傳感器的輸出頻率F是敏感電極的等效電阻Rx和等效電容Cx的函數，所述輸出端的輸出頻率F計算式為：
其中，L表示石英晶體的慣性質量、C表示石英晶體的機械彈性，C0表示石英晶體諧振器與敏感電極連接處的靜態電容，Rx為敏感電極的等效電阻，Cx為敏感電極的等效電容。
2.根據權利要求1所述的一種用于測量氣體相對濕度的數字頻率式濕度傳感器，其特征在于，所述氧化石墨烯量子點薄膜的氧化石墨烯量子點單片直徑小于或等于5nm。
3.根據權利要求1所述的一種用于測量氣體相對濕度的數字頻率式濕度傳感器，其特征在于，所述氧化石墨烯量子點薄膜通過滴涂法或旋涂法或噴涂法或自組裝法中的任意一種制備。
4.根據權利要求1所述的一種用于測量氣體相對濕度的數字頻率式濕度傳感器，其特征在于，所述襯底為FR-4基片、硅基片、陶瓷基片、高分子柔性基片中的任意一種。
5.根據權利要求1所述的一種用于測量氣體相對濕度的數字頻率式濕度傳感器，其特征在于，所述微電極為回字形電極或叉指電極中的任意一種。
6.根據權利要求1所述的一種用于測量氣體相對濕度的數字頻率式濕度傳感器，其特征在于，所述石英晶體諧振器采用金屬封裝，頻率為1-40MHz。
7.根據權利要求1所述的一種用于測量氣體相對濕度的數字頻率式濕度傳感器，其特征在于，振蕩器采用皮爾斯振蕩器或鎖相環振蕩器。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于西南交通大學，未經西南交通大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810756269.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：異質結構的SnO
- 下一篇：一種變壓器大型卷鐵心卷繞效果的檢測方法
