[發明專利]用于閘入基板的處理裝置和方法

有效

• 申請號: 201810751402.3
• 申請日: 2018-07-10
• 公開（公告）號: CN109234709B
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 邁克·菲盧夫;約爾格·法貝爾
• 申請（專利權）人: 馮·阿登納資產股份有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54;C23C14/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王小衡;王朝輝

1.一種處理裝置(100)，具有：

·成形設備(102)，其具有成形區域(112)，用于在斷續的成形過程中成形帶式基板(120)；

·涂層設備(106)，其具有涂層區域(116)，用于在連續的涂層過程中對所述帶式基板(120)涂層；

·緩沖設備(104)，具有緩沖區域(114)，用于容納所述帶式基板(120)的部段(122)；

·帶運輸設備(108)，用于斷續地運輸所述帶式基板(120)穿過所述成形區域(112)進入所述緩沖區域(114)并且用于連續地運輸帶式基板(120)離開所述緩沖區域(114)進入所述涂層區域(116)；

·其中所述成形設備(102)構建為，在所述帶式基板(120)中產生預定義的期望彎折部位(120k)并且其中所述緩沖設備(104)和帶運輸設備(108)構建為使得所述帶式基板(120)在所述緩沖區域(114)中分別在預定義的所述期望彎折部位(120k)處被彎折。

2.根據權利要求1所述的處理裝置(100)，其中，所述成形設備(102)構建為使得所述預定義的期望彎折部位(120k)橫向于所述帶式基板(120)的運輸方向(101)地延伸并且在運輸方向(101)上彼此間隔開地設置。

3.根據權利要求1或2所述的處理裝置(100)，其中，所述成形設備(102)構建為使得所述預定義的期望彎折部位(120k)借助壓印、穿孔和/或分部段地沖制來產生。

4.根據權利要求1所述的處理裝置(100)，其中，所述成形設備(102)還構建為，使得分別在兩個相鄰的預定義的期望彎折部位(120k)之間在所述帶式基板(120)中產生壓印結構(322)。

5.根據權利要求4所述的處理裝置(100)，其中，所述涂層設備(106)構建為使得分別至少所述帶式基板(120)的相應的所述壓印結構(322)被涂層。

6.根據權利要求1所述的處理裝置(100)，其中，所述涂層設備(106)構建為真空涂層設備用以執行化學或物理氣相沉積。

7.根據權利要求1所述的處理裝置(100)，其中，所述涂層設備(106)具有處理腔室(206k)，所述涂層區域(116)設置在所述處理腔室中，并且其中所述涂層設備(106)具有帶式輸入閘門(202e)用以運輸所述帶式基板(120)進入所述至少一個處理腔室(206k)并且所述涂層設備(106)具有帶式輸出閘門(202a)，用于將所述帶式基板(120)運輸離開所述至少一個處理腔室(206k)。

8.根據權利要求7所述的處理裝置(100)，其中，所述帶式輸入閘門(202e)和/或所述帶式輸出閘門(202a)構建為使得所述帶式基板(120)能夠在兩個閘門輥(302)之間引導穿過并且在兩個閘門輥(302)之間能夠在平面的區域(308)中被接觸。

9.根據權利要求7所述的處理裝置(100)，其中，所述帶式輸入閘門(202e)和/或所述帶式輸出閘門(202a)構建為使得密封帶(332)能夠在兩個輥(330a，330b)之間連續環繞地引導并且所述密封帶(332)能夠在平面的區域(308)中接觸所述帶式基板(120)。

10.根據權利要求8或9所述的處理裝置(100)，其中，所述平面的區域(308)沿著運輸方向(101)具有大于10cm的長度。