[發明專利]多波長激光干涉儀

有效

• 申請號: 201810749061.6
• 申請日: 2018-07-10
• 公開（公告）號: CN109029244B
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 劉世杰;魯棋;周游;王圣浩;倪開灶;潘靖宇;邵建達
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種多波長激光干涉儀，其特征在于包括：激光器(1)、孔徑光闌(2)、擴束次鏡(3)、針孔光闌(4)、分光棱鏡(5)、準直主鏡(6)、透射標準鏡(7)、壓電陶瓷換能器(8)、待測平面元件(9)、反射標準鏡(10)、成像透鏡(11)、高光譜相機(12)和計算機(13)；沿所述的激光器(1)的激光輸出方向依次是所述的孔徑光闌(2)、擴束次鏡(3)、針孔光闌(4)和分光棱鏡(5)，所述的分光棱鏡(5)將入射激光光束分為了透射光和反射光，在所述的透射光方向上，依次是準直主鏡(6)、透射標準鏡(7)、壓電陶瓷換能器(8)、待測平面元件(9)和反射標準鏡(10)，在該透射光的反射方向上，依次是所述的成像透鏡(11)、高光譜相機(12)和計算機(13)；所述的壓電陶瓷換能器(8)可通過電壓調節的方式沿光軸方向前后推動所述的透射標準鏡(7)；所述的高光譜相機(12)的輸出端與所述的計算機(13)的輸入端相連；所述的激光器(1)為多波長合束激光器，通過將多種波長的激光進行合束，可輸出波長范圍600nm～1600nm的激光，每種輸出波長下的相干長度大于等于1m；所述的擴束次鏡(3)與所述的成像透鏡(11)參數相同且為單透鏡；所述的準直主鏡(6)為三透鏡；所述的高光譜相機(12)能探測到所述的激光器(1)所有輸出波長的光強。