[發明專利]一種增強背鈍化的PERC單面太陽能電池及其制備方法

在審

• 申請號: 201810743818.0
• 申請日: 2018-07-09
• 公開（公告）號: CN109065640A
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發明（設計）人: 林綱正;方結彬;陳剛
• 申請（專利權）人: 浙江愛旭太陽能科技有限公司;廣東愛旭科技股份有限公司
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L31/04;H01L31/18
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司 44104
• 代理人: 侯莉

1.一種增強背鈍化的PERC單面太陽能電池，包括從下至上依次設置的背銀電極、全鋁背場、背面鈍化膜、P型硅、N型發射極、正面鈍化膜和正銀電極，在所述背面鈍化膜上開有貫通背面鈍化膜的開槽，全鋁背場通過開槽與所述P型硅相連，其特征在于：在所述P型硅的背面布設有開孔，所述背面鈍化膜部分位于所述開孔內，以增大背面鈍化膜的面積。

2.根據權利要求1所述的增強背鈍化的PERC單面太陽能電池，其特征在于：所述開孔為呈陣列分布的孔洞、或所述開孔為直線狀的長形孔、或所述開孔為短線狀的長形孔，短線狀長形孔排列成虛線形。

3.根據權利要求2所述的增強背鈍化的PERC單面太陽能電池，其特征在于：所述開孔的深度為5～50um。

4.根據權利要求3所述的增強背鈍化的PERC單面太陽能電池，其特征在于：所述孔洞為圓形孔，其直徑為20～200um；所述直線狀長形孔的寬度為20～200um；所述短線狀長形孔的寬度為20～200um。

5.根據權利要求4所述的增強背鈍化的PERC單面太陽能電池，其特征在于：所述背面鈍化膜包括背面氮化硅膜和氧化鋁膜，所述氧化鋁膜位于背面氮化硅膜的上表面上，所述背面氮化硅膜的厚度為50～500nm，所述氧化鋁膜的厚度為2～50nm。

6.根據權利要求5所述的增強背鈍化的PERC單面太陽能電池，其特征在于：所述正面鈍化膜采用氮化硅膜。

7.一種權利要求1所述增強背鈍化的PERC單面太陽能電池的制備方法，其特征在于具體包括以下步驟：

⑴在P型硅的背面布設開孔；

⑵在P型硅的正面形成絨面；

⑶在絨面上進行擴散，形成N型發射極；

⑷去除在擴散過程中形成的磷硅玻璃和周邊PN結，并對P型硅的背面進行拋光；

⑸對由步驟⑷所得產品進行退火；

⑹在由步驟⑸所得產品的正面沉積正面鈍化膜，再在背面沉積背面鈍化膜，背面鈍化膜部分沉積在開孔內，以增大背面鈍化膜的面積；或者在由步驟⑸所得產品的背面沉積背面鈍化膜，背面鈍化膜部分沉積在所述開孔內，以增大背面鈍化膜的面積，再在正面沉積正面鈍化膜；

⑺在由步驟⑹所得產品的背面上開設開槽，開槽貫通背面鈍化膜，使P型硅露于開槽中；

⑻在由步驟⑺所得產品的背面印刷背電極漿料并烘干；

⑼在由步驟⑻所得產品的背面印刷鋁漿并烘干；

⑽在由步驟⑼所得產品的正面印刷正電極漿料并烘干；

⑾對由步驟⑽所得產品進行高溫燒結，形成背銀電極、全鋁背場和正銀電極，全鋁背場通過開槽與P型硅相連；

⑿對由步驟⑾所得產品進行抗LID退火即得。

8.根據權利要求7所述的制備方法，其特征在于：在所述步驟⑸中，退火的溫度為650～900度，時間為10～90min，氮氣流量為1～30slm，氧氣流量為1～30slm。