[發(fā)明專利]近場(chǎng)電磁波測(cè)量系統(tǒng)和多功能近場(chǎng)電磁波測(cè)量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810737613.1
• 申請(qǐng)日: 2018-07-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108872269B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 閆煥磊;時(shí)西航;許弘毅;高振
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳凌波近場(chǎng)科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N22/00
• 分類號(hào): G01N22/00
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 鄭海峰

1.一種近場(chǎng)電磁波測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于包括：二維平面移動(dòng)系統(tǒng)、上位機(jī)、矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、升降臺(tái)、水平調(diào)節(jié)裝置、近場(chǎng)測(cè)量探頭；

上位機(jī)與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀相連，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸入端通過(guò)射頻連接線與近場(chǎng)測(cè)量探頭相連，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出端通過(guò)射頻連接線與樣品相連，樣品放置在水平調(diào)節(jié)裝置上；水平調(diào)節(jié)裝置固定在升降臺(tái)上；升降臺(tái)固定在二維平面坐標(biāo)移動(dòng)系統(tǒng)上；近場(chǎng)測(cè)量探頭固定于樣品上方空間；

所述的二維平面移動(dòng)系統(tǒng)通過(guò)上位機(jī)控制帶動(dòng)升降臺(tái)在X軸和Y軸方向移動(dòng)，升降臺(tái)用于調(diào)節(jié)水平調(diào)節(jié)裝置的高度；

所述的近場(chǎng)電磁波測(cè)量系統(tǒng)還包括可拆卸式探頭夾持裝置和可拆卸式上板束波裝置；可拆卸式上板束波裝置與二維平面移動(dòng)系統(tǒng)可拆卸連接；可拆卸式上板束波裝置包括上板、框架；上板為金屬板；樣品位于上板和水平調(diào)節(jié)裝置之間；二維平面移動(dòng)系統(tǒng)、升降臺(tái)、水平調(diào)節(jié)裝置和可拆卸式探頭夾持裝置均設(shè)置在所述框架內(nèi)；上板中間區(qū)域開(kāi)設(shè)有探測(cè)口；可拆卸式探頭夾持裝置為非金屬材質(zhì)；可拆卸式探頭夾持裝置包括光軸、T型連接滑塊和支撐橫桿；光軸與二維平面移動(dòng)系統(tǒng)固定連接，光軸和支撐橫桿通過(guò)T型連接滑塊相連；支撐橫桿位于樣品上方區(qū)域設(shè)有用于夾持近場(chǎng)測(cè)量探頭的卡夾；近場(chǎng)測(cè)量探頭夾持固定在支撐橫桿上或夾持固定在探測(cè)口內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的近場(chǎng)電磁波測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的二維平面移動(dòng)系統(tǒng)包括第一單臂直線機(jī)器人、第二單臂直線機(jī)器人、設(shè)備基座、線性導(dǎo)軌；所述的第一單臂直線機(jī)器人和第二單臂直線機(jī)器人均包括伺服控制器、滑軌和滑塊；伺服控制器控制滑塊在滑軌上進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)；線性導(dǎo)軌和第一單臂直線機(jī)器人設(shè)置在所述的設(shè)備基座上，線性導(dǎo)軌和第一單臂直線機(jī)器人的滑軌呈平行設(shè)置，且兩者高度相等，第二單臂直線機(jī)器人的一端固定在所述第一單臂直線機(jī)器人的滑塊上，另一端以可滑動(dòng)方式安裝在線性導(dǎo)軌上，第二單臂直線機(jī)器人的滑軌與線性導(dǎo)軌呈垂直安裝；升降臺(tái)固定在第二單臂直線機(jī)器人的滑塊上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的近場(chǎng)電磁波測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的水平調(diào)節(jié)裝置包括下平板、支撐限位板和若干水平調(diào)節(jié)件；所述的支撐限位板上表面設(shè)有與下平板形狀相同的凹陷部，所述的凹陷部用于安裝下平板；水平調(diào)節(jié)件固定在支撐限位板上，下平板底部由所述的若干水平調(diào)節(jié)件進(jìn)行支撐。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的近場(chǎng)電磁波測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的下平板開(kāi)設(shè)有線孔，所述支撐限位板的凹陷部?jī)?nèi)設(shè)有線槽；所述的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出端的同軸線通過(guò)線槽和線孔后與樣品相連。

5.一種權(quán)利要求1所述近場(chǎng)電磁波測(cè)量系統(tǒng)的多功能測(cè)量方法，其特征在于：

當(dāng)進(jìn)行束縛場(chǎng)測(cè)量時(shí)，選用可拆卸式上板束波裝置，將可拆卸式上板束波裝置與二維平面坐標(biāo)移動(dòng)系統(tǒng)的基座相固定，二維平面移動(dòng)系統(tǒng)、升降臺(tái)、水平調(diào)節(jié)裝置和樣品均設(shè)置在可拆卸式上板束波裝置內(nèi)部；近場(chǎng)測(cè)量探頭通過(guò)可拆卸式上板束波裝置上的探測(cè)口進(jìn)入測(cè)量系統(tǒng)內(nèi)部并被夾持固定于樣品上方；

當(dāng)進(jìn)行開(kāi)放場(chǎng)測(cè)量時(shí)，選用可拆卸式探頭夾持裝置；可拆卸式探頭夾持裝置與二維平面坐標(biāo)移動(dòng)系統(tǒng)的基座相固定，近場(chǎng)測(cè)量探頭通過(guò)可拆卸式探頭夾持裝置夾持固定于樣品上方，可拆卸式探頭夾持裝置為非金屬材質(zhì)；

根據(jù)測(cè)量需求選擇并安裝好裝置后，將樣品放置于水平調(diào)節(jié)裝置上面，然后通過(guò)上位機(jī)發(fā)出指令給矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和伺服運(yùn)動(dòng)控制器，伺服運(yùn)動(dòng)控制器控制兩個(gè)單臂機(jī)器人，單臂機(jī)器人帶動(dòng)升降臺(tái)、水平調(diào)節(jié)裝置及樣品做等間距有規(guī)律的自動(dòng)掃描，運(yùn)動(dòng)到設(shè)置的每一個(gè)坐標(biāo)點(diǎn)做數(shù)據(jù)采集，來(lái)完成樣品表面電磁波幅度和相位的數(shù)據(jù)采集工作。