[發明專利]制造透明導電薄膜的方法

在審

• 申請號: 201810736442.0
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN108962436A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 曾海軍;錢娟;佘天宇
• 申請（專利權）人: 無錫眾創未來科技應用有限公司
• 主分類號: H01B5/14
• 分類號: H01B5/14;H01B1/08;H01B13/00
• 代理公司: 廣州市百拓共享專利代理事務所(特殊普通合伙) 44497
• 代理人: 盧剛

1.一種制造透明導電薄膜的方法，其包括：

步驟一、表面涂布，選用清潔完成的透明材料，以浸鍍或旋轉涂布的方式，將納米粉體溶膠涂布在所述透明材料表面形成薄而均勻的涂布層；

步驟二、后處理，將涂布完成的透明導電薄膜元件，以預設的溫度烘烤，使得涂布完成的透明導電薄膜轉化成均勻、致密而吸附良好的透明導電薄膜，使其達到預設電阻值且電阻值差異性小。

2.如權利要求1所述的制造透明導電薄膜的方法，其特征在于，所述方法產生的透明導電薄膜電阻值介于10至1000歐姆/平方(ohm/square)之間。

3.如權利要求1所述的制造透明導電薄膜的方法，其特征在于，所述步驟一中采用的透明材料包括塑膠材料或玻璃材料。

4.如權利要求3所述的制造透明導電薄膜的方法，其特征在于，所述步驟一中采用的塑膠材料包括壓克力、聚碳酸或聚苯乙稀。

5.如權利要求3所述的制造透明導電薄膜的方法，其特征在于，其步驟二后處理中，采用玻璃材料作為步驟一中所述的透明材料時，所述玻璃材料的的煅燒溫度范圍為200℃～400℃，煅燒時間為30分鐘～4小時，且經過上述處理的透明導電薄膜，片電阻在10～1000ohm/square之間，可見光的平均穿透率在80％以上。

6.如權利要求3所述的制造透明導電薄膜的方法，其特征在于，其步驟二后處理中，采用塑膠材料作為步驟一中所述的透明材料時，其步驟二后處理程序中，透明塑膠材料以微波處理，所使用的微波頻率為2.45GHz，功率為100～1500W，時間為5秒至30分鐘，且經過上述處理的透明導電薄膜，片電阻約在10～1000ohm/square之間，可見光的平均穿透率在80％以上。

7.如權利要求1所述的制造透明導電薄膜的方法，其特征在于，其中該透光材料表面涂布所使用的納米粉體溶膠為氧化銦(In2O3)、氧化錫(SnO2)、氧化鋅(ZnO)、四氧化鋅錫(Zn2SnO4)、三氧化鋅錫(ZnSnO3)、氧化鋅銦(Zn2In2O5)、氧化銦錫(In2O3·SnO2)、氧化銻錫(Sb2O3·SnO2)、氧化鋅鋁(ZnO·Al2O3)或氧化錫氟(SnO2·F)納米粉體溶膠，其納米粉體粒子粒徑分布為1～100nm，固含量為0.1～10.0％，pH為4.0～9.0。

8.如權利要求1所述的制造透明導電薄膜的方法，其特征在于，其中該透光材料表面涂布所使用的納米粉體溶膠為氧化銦(In2O3)、氧化鋅(ZnO)或氧化鋁(Al2O3)納米粉體溶膠。

9.如權利要求7或8所述的制造透明導電薄膜的方法，其特征在于，其中涂布所述納米粉體溶膠的方式是以浸鍍或旋轉涂布的方式進行，涂布時該納米粉體溶膠溶液的溫度控制范圍為5～80℃，浸鍍的浸泡暫停時間為5秒至10分鐘，浸泡后的拉升速度為10～400毫米/分鐘(mm/min)，且旋轉涂布的轉速為600～3,00rpm，時間為30秒～5分鐘，表面涂布完成后進行烘干，烘干的溫度為60～200℃，且烘干時間為10～60分鐘。

10.如權利要求1所述的制造透明導電薄膜的方法，其特征在于，所述制造透明導電薄膜的方法包括步驟三，將步驟二得到的透明導電薄膜采用金屬電漿離子源植入，在加速電壓10～80KeV，時間1～10分鐘條件下，將鋁、氟或鎵元素值入薄膜，且相對于薄膜質量的值入量為1～15％，所得透明導電薄膜的電阻為0.3～10ohm/square。