[發明專利]蒸鍍裝置有效
| 申請號： | 201810735696.0 | 申請日： | 2018-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN108950484B | 公開（公告）日： | 2020-06-30 |
| 發明（設計）人： | 楊濤;施展 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 430079 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 | ||
1.一種蒸鍍裝置，用于對基板進行蒸鍍，其特征在于，包括至少一個距離傳感器、調節件、承載板以及觸摸板；
所述承載板，用于承載所述基板；
所述觸摸板，設置在所述基板上，所述觸摸板與所述承載板相對間隔設置；
所述至少一個距離傳感器，用于測量所述承載板的水平度，得到第一水平度，所述至少一個距離傳感器用于測量所述觸摸板的水平度，得到第二水平度；
所述調節件，用于根據所述第一水平度和所述第二水平度，調節所述承載板和/或所述觸摸板的水平度，使所述承載板和所述觸摸板之間的相對水平度處于預設相對水平度范圍；
所述蒸鍍裝置包括腔體承載臺和水平滑動件，所述水平滑動件設置在所述腔體承載臺靠近所述觸摸板的一側，所述水平滑動件與所述距離傳感器連接，用于控制所述距離傳感器在水平方向上移動，使所述距離傳感器測量所述承載板和所述觸摸板的水平度。
2.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括伸縮件和磁板；
所述磁板通過所述伸縮件與所述腔體承載臺連接，所述磁板設置在所述觸摸板上，所述磁板上與所述觸摸板四角相對的位置，設置有通孔；
所述距離傳感器，通過所述通孔測量所述觸摸板的水平度。
3.根據權利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括限位件，所述限位件設置在所述觸摸板和所述磁板之間，所述限位件用于調節所述觸摸板和所述磁板之間的相對距離。
4.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述水平滑動件包括水平滑動軌道。
5.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置包括4組傳感器組，所述4組傳感器組分別設置在所述腔體承載臺的四角；
每一所述傳感器組包括2個所述距離傳感器，位于同一所述傳感器組的所述2個距離傳感器，分別用于測量所述承載板一角和所述觸摸板一角的水平度。
6.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述調節件包括第一調節桿，所述第一調節桿一端與所述承載板連接，另一端與所述距離傳感器電性連接，所述第一調節桿用于根據所述距離傳感器測得的第一水平度和第二水平度，調節所述承載板的水平度。
7.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述調節件包括第二調節桿，所述第二調節桿一端與所述觸摸板連接，另一端與所述距離傳感器電性連接，所述第二調節桿用于根據所述距離傳感器測得的第一水平度和第二水平度，調節所述觸摸板的水平度。
8.根據權利要求7所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第二調節桿為L型調節桿。
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