[發明專利]靶材組件

在審

• 申請號: 201810731551.3
• 申請日: 2018-07-05
• 公開（公告）號: CN108624856A
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 李靜雅;白洋;孫良成;劉小魚;婁樹普;李慧;魯飛;劉樹峰;王峰;成宇;李德輝
• 申請（專利權）人: 包頭稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料國家工程研究中心有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京康盛知識產權代理有限公司 11331
• 代理人: 張良

1.一種靶材組件，其特征在于，包括：靶體蓋圈、中心靶體、冷卻背板，靶體蓋圈在中部設置有開口，在內側設置有腔室；中心靶體設置在腔室內，中心靶體與腔室無縫隙緊密配合，靶體蓋圈的底部固定在冷卻背板上；中心靶體的底面與靶體蓋圈的底面位于同一個平面；中心靶體位于開口的上平面與上端面構成濺射面。

2.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，靶體蓋圈與中心靶體的材質選用Cu、Al、Ni、Ti、W的單一金屬或者合金。

3.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，中心靶體為單體靶或者焊接型靶。

4.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，靶體蓋圈與中心靶體為相同材質。

5.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，靶體蓋圈的材質為鈦，中心靶體的材質為鋁。

6.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，靶體蓋圈的上端面為環形平面或者環形斜面，靶體蓋圈、腔室的外形為圓柱體，中心靶體的底面與靶體蓋圈的底端面貼合于冷卻背板上。

7.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，中心靶體與腔室采用螺紋連接的方式。

8.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，上端面的頂部設置特有頂柱，頂柱為環形，頂柱的頂面為環形平面；上端面、頂柱、中心靶體位于開口的上平面構成臺階形的濺射面。

9.如權利要求8所述靶材組件，其特征在于，頂柱的外徑與靶體蓋圈的外徑相同。

10.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，靶體蓋圈、腔室、中心靶體的外形為矩形柱體。