[發明專利]一種PVD古銅色鍍膜工藝

在審

• 申請號: 201810730712.7
• 申請日: 2018-07-05
• 公開（公告）號: CN108823548A
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 劉偉;張祖興;張俊
• 申請（專利權）人: 江蘇偉創真空鍍膜科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58
• 代理公司: 蘇州創策知識產權代理有限公司 32322
• 代理人: 楊陽

1.一種PVD古銅色鍍膜工藝，其特征在于：包括如下處理步驟：

1)將樣品置于真空環境中在單一鍍膜室內采用多靶位連續磁控濺射方式鍍深金黃色TiN膜形成第一半成品：真空環境真空度為3.0×10^-1Pa～5.0×10^-1Pa，總氣壓為0.30Pa～0.50Pa，溫度范圍為20℃～150℃，氬氣流量為200Sccm～220Sccm，氮氣流量為200Sccm～220Sccm；

2)在同一真空環境中在第一半成品上鍍碳氧化物膜形成第二半成品；

3)對第二半成品進行粗打磨和清洗形成第三半成品；

4)對第三半成品進行精打磨和油漆處理形成一層硬度為2300HV的成品；

5)對成品進行耐48小時人工汗測試。

2.根據權利要求1所述的一種PVD古銅色鍍膜工藝，其特征在于：所述步驟3)中在對第二半成品進行清洗時將其放入常溫水中，浸洗60s～90s。

3.根據權利要求2所述的一種PVD古銅色鍍膜工藝，其特征在于：所述步驟1)中進行磁控濺射時：靶電流范圍為15A～30A。

4.根據權利要求3所述的一種PVD古銅色鍍膜工藝，其特征在于：所述步驟1)中進行磁控濺射時：磁場強度為120Gs～900Gs。

5.根據權利要求4所述的一種PVD古銅色鍍膜工藝，其特征在于：所述步驟4)中成品薄膜厚度為2.5μm。

6.根據權利要求5所述的一種PVD古銅色鍍膜工藝，其特征在于：所述步驟4)中成品薄膜與鋼材的摩擦系數為0.35。

7.根據權利要求6所述的一種PVD古銅色鍍膜工藝，其特征在于：所述步驟4)中成品薄膜的耐氧化溫度為600℃。

8.根據權利要求7所述的一種PVD古銅色鍍膜工藝，其特征在于：所述步驟4)中成品薄膜的結構為納米多層薄膜。