[發(fā)明專利]一種晶硅切棱磨倒一體機(jī)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810728772.5
• 申請日: 2018-07-05
• 公開（公告）號: CN108714978A
• 公開（公告）日: 2018-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 段景波;徐公志;解培玉
• 申請（專利權(quán)）人: 青島高測科技股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;B24B27/00;B24B9/06;B24B41/00;B24B41/02
• 代理公司: 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11357
• 代理人: 魏忠暉

1.一種晶硅切棱磨倒一體機(jī)，其特征在于，沿著晶硅的傳輸方向依次包括去棱切割機(jī)構(gòu)(1)和磨面拋光機(jī)構(gòu)(2)；

所述去棱切割機(jī)構(gòu)(1)包括切割機(jī)頭(3)，所述切割機(jī)頭(3)由切割絲(9)圍成供晶硅通過并切割晶硅棱角的切割通道(10)，所述切割絲(9)的縱截面呈邊數(shù)至少為3條的多邊形，所述磨面拋光機(jī)構(gòu)(2)包括磨削頭(4)，所述磨削頭(4)由磨削組件圍成供晶硅通過并磨削晶硅表面的磨削通道(8)，所述切割通道(10)與磨削通道(8)平行設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶硅切棱磨倒一體機(jī)，其特征在于，所述切割機(jī)頭(3)包括底座(301)、左切割組件(302)和右切割組件(303)，所述左切割組件(302)和右切割組件(303)的結(jié)構(gòu)相同，且兩者以底座(301)的中軸線為對稱軸間隔設(shè)置以形成供晶硅通過的切割通道(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶硅切棱磨倒一體機(jī)，其特征在于，所述左切割組件(302)包括支撐框架(304)、切割電機(jī)(305)、切割輪(306)和過渡輪(307)，所述支撐框架(304)的底部通過導(dǎo)向組件與底座(301)相連，所述切割電機(jī)(305)的輸出端與切割輪(306)連接，且切割輪(306)、過渡輪(307)與支撐框架(304)可轉(zhuǎn)動連接，所述過渡輪(307)設(shè)置為多個，切割絲(9)依次繞過切割輪(306)、過渡輪(307)形成閉合的多邊形。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶硅切棱磨倒一體機(jī)，其特征在于，所述支撐框架(304)上沿著切割通道(10)的長度方向設(shè)有開槽(308)，所述開槽(308)處設(shè)有張緊輪(309)、連接座和張緊氣缸，所述張緊氣缸固定于支撐框架(304)上，所述張緊輪(309)的輪軸通過軸承與連接座可轉(zhuǎn)動連接，所述連接座位于開槽(308)內(nèi)，且其與張緊氣缸的活塞端連接，切割絲(9)依次繞過切割輪(306)、張緊輪(309)和過渡輪(307)形成閉合的多邊形。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶硅切棱磨倒一體機(jī)，其特征在于，所述去棱切割機(jī)構(gòu)(1)還包括第一框架(11)、上料組件(5)、上下料組件(14)和第一進(jìn)給滑臺(6)，所述上料組件(5)、上下料組件(14)和切割機(jī)頭(3)均位于第一框架(11)內(nèi)部，且上料組件(5)、上下料組件(14)分別位于切割機(jī)頭(3)的兩側(cè)，所述第一進(jìn)給滑臺(6)位于第一框架(11)上方，用于夾持晶硅并帶動晶硅沿著切割通道(10)移動，所述底座(301)與第一框架(11)固連。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶硅切棱磨倒一體機(jī)，其特征在于，所述磨面拋光機(jī)構(gòu)(2)還包括工作臺(12)、第二框架(13)、第二進(jìn)給滑臺(7)和下料組件，所述第二框架(13)位于工作臺(12)的上方且兩者固連，所述磨削頭(4)位于第二框架(13)內(nèi)部，所述第二進(jìn)給滑臺(7)位于第二框架(13)上方，用于夾持晶硅并帶動晶硅沿著磨削通道(8)移動，上下料組件(14)和下料組件分別位于磨削頭(4)的兩側(cè)，且上下料組件(14)位于切割機(jī)頭(3)、磨削頭(4)之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶硅切棱磨倒一體機(jī)，其特征在于，所述上下料組件(14)與上料組件(5)的結(jié)構(gòu)相同，所述上料組件(5)包括底板(501)、第一夾持組件、第二夾持組件和載料組件(502)，所述載料組件(502)位于第一夾持組件、第二夾持組件之間，且第一夾持組件和第二夾持組件可相對滑動。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種晶硅切棱磨倒一體機(jī)，其特征在于，所述第一夾持組件包括頂緊氣缸(504)、第一夾板(503)和滑座(505)，所述第一夾板(503)與頂緊氣缸(504)的輸出端連接，所述底板(501)設(shè)有第一滑軌(506)，所述第一滑軌(506)上滑動設(shè)有與第一夾板(503)固連的滑座(505)，所述第二夾持組件包括與第一夾板(503)相對設(shè)置的第二夾板(507)。