[發明專利]一種鎢銅合金表面類金剛石處理的方法

在審

• 申請號: 201810726152.8
• 申請日: 2018-07-04
• 公開（公告）號: CN108823542A
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 黃友庭;周曉龍;陳文哲
• 申請（專利權）人: 福建工程學院
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02
• 代理公司: 福州市眾韜專利代理事務所(普通合伙) 35220
• 代理人: 方金芝;黃秀婷

1.一種鎢銅合金表面類金剛石處理的方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)研磨清洗

將鎢銅合金的表面先用800-1000目的砂紙研磨，然后再拋光成鏡面，最后在超聲波中依次用丙酮清洗5～10分鐘和去離子水清洗2～5分鐘，最后再用N₂吹干；

(2)磁控濺射

將經步驟(1)的鎢銅合金裝在磁控濺射設備的腔體中，將1-2個靶材鎢、和1-2個靶材石墨設置于以所述的鎢銅合金為中心，20～25mm為半徑的圓周上，且不同靶材交替間隔分布；

抽真空至3～5mPa，然后再通入純度為99.99％的高純氬氣至0.5～0.8Pa；

鎢銅合金濺射面先旋轉至靶材鎢前，然后打開濺射靶材電源開關進行濺射，濺射時，控制真空度為0.1～0.3Pa，電流強度為0.5-1A，沉積溫度為180～220℃，沉積時間為60～90min；靶材的旋轉速率為3～5轉/分鐘；

(3)去應力退火

將經過步驟(2)的鎢銅合金，放在600～800℃的真空爐中，在真空度不大于0.1Pa的條件下保溫2～3小時，然后隨爐冷卻至室溫。

2.根據權利要求1所述的一種鎢銅合金表面類金剛石處理的方法，其特征在于，所述的靶材鎢采用鎢的百分含量大于等于99.5％的尺寸為Ф120mm×20mm的柱狀金屬鎢。

3.根據權利要求1所述的一種鎢銅合金表面類金剛石處理的方法，其特征在于，所述的靶材石墨采用百分含量大于等于99.9％的尺寸為Ф120mm×20mm的柱狀石墨。

4.根據權利要求1所述的一種鎢銅合金表面類金剛石處理的方法，其特征在于，步驟(2)中所述的磁控濺射設備為英國Teer公司生產的UDP450型磁控濺射設備。

5.根據權利要求1所述的一種鎢銅合金表面類金剛石處理的方法，其特征在于，當靶材鎢的個數為2個，靶材石墨的個數為2個時，相同的靶材均以鎢銅合金為中心中心對稱。