[發(fā)明專利]一種用于調(diào)節(jié)區(qū)熔爐壓力的保護(hù)裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810713117.2 | 申請(qǐng)日： | 2018-06-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108707962A | 公開（公告）日： | 2018-10-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙陽(yáng);劉琨;郝大維;王克旭;張鳳佐;李軍;孫晨光;王彥君;孫健 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B13/00 | 分類號(hào)： | C30B13/00;C30B13/28 |
| 代理公司： | 天津?yàn)I?？凭曋R(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12211 | 代理人： | 楊慧玲 |
| 地址： | 300384 天津市濱海新區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 區(qū)熔爐 保護(hù)裝置 防爆閥 體外壁 連通 壓強(qiáng) 壓力傳感器 安全性能 爐體密封 氣體壓強(qiáng) 外部空氣 爐體 密封 體內(nèi) 保證 監(jiān)控 | ||
1.一種用于調(diào)節(jié)區(qū)熔爐壓力的保護(hù)裝置，其特征在于：包括置于區(qū)熔爐體外壁連通的管路，所述管路的另一端與外部空氣連通，所述管路上設(shè)有防爆閥，通過(guò)所述防爆閥將所述區(qū)熔爐體密封，所述防爆閥和所述區(qū)熔爐體外壁之間的所述管路上還設(shè)有壓力傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于調(diào)節(jié)區(qū)熔爐壓力的保護(hù)裝置，其特征在于：所述防爆閥內(nèi)設(shè)有滑動(dòng)配合的橡膠塞，所述橡膠塞的軸線與所述管路的軸線重合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于調(diào)節(jié)區(qū)熔爐壓力的保護(hù)裝置，其特征在于：所述防爆閥內(nèi)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述橡膠塞運(yùn)動(dòng)進(jìn)而實(shí)現(xiàn)密封的啟閉，所述橡膠塞的運(yùn)動(dòng)方向與所述管路的軸線平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于調(diào)節(jié)區(qū)熔爐壓力的保護(hù)裝置，其特征在于：所述區(qū)熔爐體內(nèi)設(shè)有控制單元，所述壓力傳感器與所述控制單元電連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于調(diào)節(jié)區(qū)熔爐壓力的保護(hù)裝置，其特征在于：所述防爆閥內(nèi)的所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)同樣與所述控制單元電連接。
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