[發(fā)明專利]LCOS顯示器及電子設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810710409.0
• 申請(qǐng)日: 2018-07-02
• 公開（公告）號(hào): CN108845442B
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小堺隆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 豪威半導(dǎo)體（上海）有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G02F1/133
• 分類號(hào): G02F1/133;G02F1/1335;G02F1/1343
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

1.一種LCOS顯示器，其特征在于，包括晶圓基板以及依次層疊在所述晶圓基板上的反射鏡堆、具有多個(gè)像素電極的像素電極層、液晶層以及透明蓋板，所述晶圓基板中形成有驅(qū)動(dòng)電路，所述像素電極層中的各個(gè)像素電極通過(guò)貫穿所述反射鏡堆的導(dǎo)電通孔結(jié)構(gòu)與所述驅(qū)動(dòng)電路電連接；

其中，所述反射鏡堆包括依次層疊的反射金屬層以及電介質(zhì)層；所述反射金屬層中形成有暴露出所述晶圓基板表面的溝槽，所述溝槽將所述反射金屬層劃分多個(gè)塊，每個(gè)所述塊能夠覆蓋相應(yīng)的所述像素電極之間的間隙；所述電介質(zhì)層覆蓋在所述反射金屬層和所述溝槽的上方；所述溝槽中填充有所述電介質(zhì)層，或者，所述溝槽中填充有頂面與所述反射金屬層的頂面齊平、材質(zhì)不同于所述電介質(zhì)層的隔離材料，或者，所述溝槽被所述電介質(zhì)層封閉為氣隙；所述導(dǎo)電通孔結(jié)構(gòu)穿過(guò)所述溝槽并與所述反射金屬層相互絕緣。

2.如權(quán)利要求1所述的LCOS顯示器，其特征在于，所述反射金屬層的材質(zhì)包括鎂、銅、鋁、鈦、鉭、金、鋅和銀中的至少一種。

3.如權(quán)利要求1所述的LCOS顯示器，其特征在于，所述電介質(zhì)層為單層結(jié)構(gòu)或疊層結(jié)構(gòu)，所述電介質(zhì)層的材質(zhì)包括氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化鋁、氧化鈦、五氧化二鉭、氧化鉿、氮化鈦、氮化鉭、氧化鋅和氟化鎂中的至少一種。

4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的LCOS顯示器，其特征在于，所述反射金屬層為銀，所述電介質(zhì)層為氧化鈦-氧化硅-氧化鈦疊層結(jié)構(gòu)。

5.如權(quán)利要求1所述的LCOS顯示器，其特征在于，所述像素電極層還包括絕緣鈍化層，所述多個(gè)像素電極形成在所述絕緣鈍化層中。

6.如權(quán)利要求5所述的LCOS顯示器，其特征在于，所述像素電極為半透光電極或者全透光性電極。

7.如權(quán)利要求6所述的LCOS顯示器，其特征在于，所述像素電極的厚度為

8.如權(quán)利要求1所述的LCOS顯示器，其特征在于，所述液晶層與所述像素電極層之間還形成有第一配向?qū)樱凰鲆壕优c所述透明蓋板之間還依次層疊有第二配向?qū)雍屯该鲗?dǎo)電層；所述透明蓋板的上表面上還覆蓋有抗反射層。

9.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的LCOS顯示器。