[發(fā)明專利]碳納米結(jié)構(gòu)體生長用CVD裝置及碳納米結(jié)構(gòu)體的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810707847.1
• 申請(qǐng)日: 2018-07-02
• 公開（公告）號(hào): CN109384216A
• 公開（公告）日: 2019-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中野美尚;野末龍弘;福田義朗;塚原尚希;村上裕彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社愛發(fā)科
• 主分類號(hào): C01B32/15
• 分類號(hào): C01B32/15;C01B32/16;C01B32/186;B82Y30/00
• 代理公司: 北京英特普羅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11015
• 代理人: 齊永紅

1.一種碳納米結(jié)構(gòu)體生長用CVD裝置，其特征在于，具有：

處理爐；

運(yùn)送裝置，以通過處理爐內(nèi)的方式運(yùn)送處理對(duì)象物；

氣體導(dǎo)入裝置，向處理爐內(nèi)導(dǎo)入含碳的原料氣體；以及

加熱裝置，加熱原料氣體；

所述碳納米結(jié)構(gòu)體生長用CVD裝置使碳納米結(jié)構(gòu)體在通過處理室內(nèi)的處理對(duì)象物的表面上生長；

運(yùn)送裝置具有放置處理對(duì)象物并以規(guī)定速度移動(dòng)的帶狀體，在該帶狀體上形成允許碳納米結(jié)構(gòu)體向處理對(duì)象物的放置面?zhèn)壬L的多個(gè)開口；

在所述碳納米結(jié)構(gòu)體生長用CVD裝置中，網(wǎng)眼體介于帶狀體和處理對(duì)象物之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳納米結(jié)構(gòu)體生長用CVD裝置，其特征在于：

所述帶狀體由網(wǎng)眼帶構(gòu)成；

所述網(wǎng)眼體是由外徑比構(gòu)成所述網(wǎng)眼帶的線材小的線材組成的帶狀的網(wǎng)眼體，隨著所述網(wǎng)眼帶的移動(dòng)而移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的碳納米結(jié)構(gòu)體生長用CVD裝置，其特征在于：

所述網(wǎng)眼體的開口率設(shè)置在50～99.8％的范圍內(nèi)。

4.一種碳納米結(jié)構(gòu)體的制造方法，使用權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的碳納米結(jié)構(gòu)體生長用CVD裝置，其特征在于，所述碳納米結(jié)構(gòu)體的制造方法包括：

準(zhǔn)備工序，在將帶狀體和網(wǎng)眼體重疊后，將處理對(duì)象物放置到網(wǎng)眼體上；以及

生長工序，使帶狀體和網(wǎng)眼體在處理爐內(nèi)移動(dòng)，在通過處理爐內(nèi)的期間使加熱后的原料氣體與處理對(duì)象物表面接觸，使碳納米結(jié)構(gòu)體在該處理對(duì)象物表面生長；

在所述生長工序中，碳納米結(jié)構(gòu)體經(jīng)過下述階段而生長，即：在處理對(duì)象物的放置面?zhèn)壬L的碳納米結(jié)構(gòu)體分別與構(gòu)成網(wǎng)眼體的各線材接觸的第一階段；以及與各線材接觸的碳納米結(jié)構(gòu)體進(jìn)一步生長，通過這些生長的碳納米結(jié)構(gòu)體承載處理對(duì)象物的第二階段。