[發(fā)明專利]一種柔性顯示器基板、其制備方法及其應用

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810706629.6
• 申請日: 2018-07-02
• 公開（公告）號: CN110739397A
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉亞群
• 申請（專利權(quán)）人: 霍尼韋爾特性材料和技術(shù)(中國)有限公司
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/52;H01L27/32;H01L51/56
• 代理公司: 72001 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 張慧;萬雪松

本發(fā)明涉及一種柔性顯示器基板、其制備方法及其應用。所述柔性顯示器基板包括：支撐襯底和柔性襯底，所述支撐襯底和所述柔性襯底之間設(shè)置有剝離層，所述剝離層包含可溶性聚酰亞胺。本發(fā)明通過在支撐襯底和柔性襯底之間設(shè)置可溶性聚酰亞胺剝離層而避免了后續(xù)剝離工藝、特別是激光剝離工藝對于柔性襯底以及其上的顯示元件的不利影響。此外，本發(fā)明的剝離層的原料易得，制備方法簡單，因而工藝成本低廉。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及柔性顯示器領(lǐng)域。具體地，本發(fā)明涉及一種柔性顯示器基板、其制備方法及其應用。

背景技術(shù)

柔性顯示器是一種可變形、可彎曲的顯示裝置，其由柔軟的材料制成，主要結(jié)構(gòu)包括柔性襯底、中間顯示單元和封裝層。柔性襯底是整個柔性顯示器的重要組成部分，其對于顯示器的性能具有很大影響。選擇何種類型的襯底決定了顯示器的工藝路線、成本、清晰度等。傳統(tǒng)的柔性襯底主要采用厚度小于100μm的柔性材料制備，包括超薄玻璃、金屬箔、聚合物薄膜等。聚合物薄膜可以選自聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）、聚碳酸酯（PC）、聚醚砜（PES）、聚酰亞胺（PI）等。其中，聚酰亞胺襯底以其良好的耐高溫特性、良好的力學性能以及化學穩(wěn)定性而被廣泛使用。

在實際生產(chǎn)過程中，由于柔性襯底存在易起褶皺和易變形等問題，通常將其與剛性的支撐襯底粘附在一起，通過剛性的支撐襯底支撐和固定柔性襯底來完成薄膜晶體管陣列層、陽極層、有機發(fā)光層、陰極層和封裝層等的制作。最后，通過合適的剝離工藝，將柔性襯底從支撐襯底上剝離，從而得到帶有柔性襯底的顯示器。

現(xiàn)有技術(shù)中，主流的柔性顯示器的制作方法是以玻璃為支撐襯底，以聚酰亞胺為柔性襯底，使用涂布設(shè)備將聚酰亞胺前驅(qū)體——聚酰胺酸（PAA）溶液均勻涂布在玻璃襯底上，隨后在高溫下進行烘烤使之閉環(huán)脫水而經(jīng)歷酰亞胺化得到聚酰亞胺薄膜，接著在聚酰亞胺薄膜表面進行顯示單元、封裝層等的裝配，最后通過激光剝離（LLO）工藝用激光從玻璃襯底的背面進行照射，從而使聚酰亞胺薄膜與玻璃襯底分離，得到以聚酰亞胺薄膜為柔性襯底的顯示器。

然而，激光的波長和強度易受玻璃襯底的影響。玻璃表面或玻璃本體的均勻性可能影響激光在聚酰亞胺襯底和玻璃襯底之間界面上的能量分布。玻璃襯底中的任何氣泡或者其表面上的任何污染物或劃痕都可能導致激光能量分布不均勻，從而造成剝離過程不順暢。此外，由于聚酰亞胺薄膜沒有屏蔽激光的作用，采用激光剝離工藝除去玻璃襯底的過程中，激光容易直接對顯示器內(nèi)部的功能性元件產(chǎn)生不利影響。

現(xiàn)有技術(shù)中已經(jīng)報導了一些改善柔性襯底和支撐襯底之間剝離性能的方法。

CN107978687A中公開了一種柔性O(shè)LED顯示面板的制備方法，通過在支撐基板和柔性襯底之間設(shè)置導電層，在進行激光剝離工藝時，該導電層可以將電離產(chǎn)生的正負離子及時導出，避免發(fā)生放電而導致柔性O(shè)LED顯示面板中的電路結(jié)構(gòu)發(fā)生損壞。

CN105304469A中公開了一種聚酰亞胺基板、其制備方法及柔性顯示器，所述聚酰亞胺基板由木質(zhì)素、聚酰亞胺和自由基引發(fā)劑制成，使得聚酰亞胺最大吸收峰紅移至≤380nm，有效防止剝離過程中激光對于基板以及液晶的傷害。

CN104505467A中公開了一種用于制備柔性顯示器的復合基板，該復合基板包括基底、位于該基底上方的犧牲層、位于犧牲層上方的導熱層和位于導熱層上方的柔性材料層。導熱層和犧牲層的設(shè)置可以減少后續(xù)激光剝離中柔性顯示器的柔性基板或顯示元件出現(xiàn)的形變、熔化、裂解等問題影響顯示質(zhì)量。

上述改進方案在減少激光對柔性襯底以及其上的顯示元件造成傷害的同時，也帶來了制備工藝復雜化以及成本提高等問題。因此，需要一種制備工藝更簡單、剝離效率更高的柔性顯示器基板，其既適于后續(xù)顯示器功能性元件的制作，又容易使柔性襯底與支撐襯底分離，從而避免剝離過程對顯示器功能性元件的破壞，提高產(chǎn)品良率，降低生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容