[發(fā)明專利]圖像傳感器及其形成方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810703456.2 | 申請日： | 2018-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN108807441A | 公開（公告）日： | 2018-11-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王亮;內(nèi)藤逹也 | 申請（專利權(quán)）人： | 德淮半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號： | H01L27/146 | 分類號： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 武振華;吳敏 |
| 地址： | 223302 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 濾光器 圖像傳感器 防反射薄膜 襯底 半導(dǎo)體 矩陣 色彩飽和度 輸出圖像 像素器件 顏色波長 堆疊 覆蓋 吸收 | ||
1.一種圖像傳感器，其特征在于，包括：
半導(dǎo)體襯底；
像素器件，位于所述半導(dǎo)體襯底內(nèi)；
防反射薄膜，覆蓋所述半導(dǎo)體襯底；
濾光器矩陣，堆疊于所述防反射薄膜上，每個所述濾光器矩陣包括多種不同顏色的濾光器；
其中，所述防反射薄膜對應(yīng)于不同顏色的濾光器的區(qū)域具有不同的厚度，且所述厚度根據(jù)對應(yīng)的濾光器的顏色波長確定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，所述不同顏色的濾光器包括綠色濾光器、紅色濾光器以及藍色濾光器，
其中，所述防反射薄膜對應(yīng)于綠色濾光器的區(qū)域的厚度為綠光波長的1/4的奇數(shù)倍；
所述防反射薄膜對應(yīng)于紅色濾光器的區(qū)域的厚度為紅光波長的1/4的奇數(shù)倍；
所述防反射薄膜對應(yīng)于藍色濾光器的區(qū)域的厚度為藍光波長的1/4的奇數(shù)倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像傳感器，其特征在于，所述防反射薄膜對應(yīng)于紅色濾光器的區(qū)域的厚度大于所述防反射薄膜對應(yīng)于綠色濾光器的區(qū)域的厚度，所述防反射薄膜對應(yīng)于綠色濾光器的區(qū)域的厚度大于所述防反射薄膜對應(yīng)于藍色濾光器的區(qū)域的厚度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，還包括：
第一介質(zhì)層，覆蓋所述防反射薄膜，且所述第一介質(zhì)層的表面與所述半導(dǎo)體襯底的表面平行；
其中，所述濾光器矩陣位于所述第一介質(zhì)層的表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，還包括：
堆疊層，所述堆疊層位于所述半導(dǎo)體襯底的表面，所述堆疊層包括堆疊的第二介質(zhì)層與高介電常數(shù)層；
其中，所述防反射薄膜位于所述堆疊層的表面。
6.一種圖像傳感器的形成方法，其特征在于，包括：
提供半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底內(nèi)具有像素器件；
形成覆蓋所述半導(dǎo)體襯底的防反射薄膜；
形成濾光器矩陣，所述濾光器矩陣堆疊于所述防反射薄膜上，每個所述濾光器矩陣包括多種不同顏色的濾光器；
其中，所述防反射薄膜對應(yīng)于不同顏色的濾光器的區(qū)域具有不同的厚度，且所述厚度根據(jù)對應(yīng)的濾光器的顏色波長確定。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖像傳感器的形成方法，其特征在于，所述形成覆蓋所述半導(dǎo)體襯底的防反射薄膜包括：
形成覆蓋所述半導(dǎo)體襯底的初始防反射薄膜；
分別形成多層掩膜層，所述多層掩膜層分別露出不同顏色的濾光器的區(qū)域；
分別以所述多層掩膜層為掩膜，對初始防反射薄膜進行多次刻蝕，以形成對應(yīng)于不同顏色的濾光器的區(qū)域的防反射薄膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖像傳感器的形成方法，其特征在于，所述不同顏色的濾光器包括綠色濾光器、紅色濾光器以及藍色濾光器，
其中，所述防反射薄膜對應(yīng)于綠色濾光器的區(qū)域的厚度為綠光波長的1/4的奇數(shù)倍；
所述防反射薄膜對應(yīng)于紅色濾光器的區(qū)域的厚度為紅光波長的1/4的奇數(shù)倍；
所述防反射薄膜對應(yīng)于藍色濾光器的區(qū)域的厚度為藍光波長的1/4的奇數(shù)倍。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像傳感器的形成方法，其特征在于，所述防反射薄膜對應(yīng)于紅色濾光器的區(qū)域的厚度大于所述防反射薄膜對應(yīng)于綠色濾光器的區(qū)域的厚度，所述防反射薄膜對應(yīng)于綠色濾光器的區(qū)域的厚度大于所述防反射薄膜對應(yīng)于藍色濾光器的區(qū)域的厚度。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖像傳感器的形成方法，其特征在于，還包括：
在所述防反射薄膜的表面形成第一介質(zhì)層，且所述第一介質(zhì)層的表面與所述半導(dǎo)體襯底的表面平行；
其中，所述濾光器矩陣位于所述第一介質(zhì)層的表面。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖像傳感器的形成方法，其特征在于，還包括：
在所述半導(dǎo)體襯底的表面形成第二介質(zhì)層與高介電常數(shù)層的堆疊層；
其中，所述防反射薄膜位于所述堆疊層的表面。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的多個半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的；包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點的熱電元件的；包括有熱磁組件的
