[發(fā)明專利]一種分體式精密測(cè)量裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810698742.4
• 申請(qǐng)日: 2018-06-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110657746A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李新振;廖飛紅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02;G01B11/00
• 代理公司: 11332 北京品源專利代理有限公司
• 代理人: 孟金喆

1.一種分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，包括：

被測(cè)物承載單元，用于承載被測(cè)物；

檢測(cè)單元，用于檢測(cè)被測(cè)物；

檢測(cè)承載單元，用于承載所述檢測(cè)單元，所述檢測(cè)單元可在檢測(cè)承載單元上沿X方向運(yùn)動(dòng)；

所述被測(cè)物承載單元和檢測(cè)承載單元可發(fā)生沿Y方向的相對(duì)運(yùn)動(dòng)；所述X方向和Y方向水平正交；

位移測(cè)量單元，包括第一位移測(cè)量單元和第二位移測(cè)量單元，所述第一位移測(cè)量單元用于測(cè)量所述被測(cè)物承載單元和所述檢測(cè)單元在X方向的相對(duì)位移，所述第二位移測(cè)量單元用于測(cè)量所述被測(cè)物承載單元和檢測(cè)承載單元在Y方向的相對(duì)位移；

所述被測(cè)物承載單元、檢測(cè)承載單元和位移測(cè)量單元分別安裝在第一安裝框架、第二安裝框架和第三安裝框架上，所述第一安裝框架、第二安裝框架和第三安裝框架相互獨(dú)立設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述第三安裝框架包括由第一部分和第二部分組成的L形結(jié)構(gòu)，所述第一部分平行于Y方向，所述第二部分平行于X方向，所述第一安裝框架和第二安裝框架位于所述L形結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述第一安裝框架上設(shè)有沿Y方向分布的若干第一導(dǎo)軌，所述被測(cè)物承載單元可沿所述第一導(dǎo)軌Y方向運(yùn)動(dòng)，所述檢測(cè)承載單元固定安裝在所述第二安裝框架上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述第二安裝框架上設(shè)有沿Y方向分布的第二導(dǎo)軌，所述檢測(cè)承載單元可沿所述第二導(dǎo)軌Y方向運(yùn)動(dòng)，所述被測(cè)物承載單元固定安裝在所述第一安裝框架上。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述被測(cè)物承載單元為基板臺(tái)，所述檢測(cè)承載單元為龍門框架，所述檢測(cè)單元通過(guò)氣浮軸承與所述龍門框架的橫梁連接，可沿橫梁在X方向運(yùn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述檢測(cè)單元為CCD相機(jī)，用于攝取被檢測(cè)物的圖像信息。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述第一位移測(cè)量單元包括若干第一干涉儀測(cè)量組件，用于測(cè)量所述被測(cè)物承載單元和所述檢測(cè)單元在X方向的相對(duì)位移，以及在Rx、Ry和Rz方向的相對(duì)位置偏移；所述第二位移測(cè)量單元包括若干第二干涉儀測(cè)量組件，用于測(cè)量所述被測(cè)物承載單元和檢測(cè)承載單元在Y方向的相對(duì)位移，以及在Rx、Ry和Rz方向的相對(duì)位置偏移。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述若干第一干涉儀測(cè)量組件的第一干涉儀安裝在所述第三安裝框架上，所述若干第一干涉儀測(cè)量組件的第一反射鏡對(duì)應(yīng)安裝在所述檢測(cè)單元上；或所述若干第一干涉儀測(cè)量組件的第一干涉儀安裝在所述檢測(cè)單元上，所述若干第一干涉儀測(cè)量組件的第一反射鏡對(duì)應(yīng)安裝在所述第三安裝框架上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述若干第二干涉儀測(cè)量組件的第二干涉儀安裝在所述第三安裝框架上，所述若干第二干涉儀測(cè)量組件的第二反射鏡對(duì)應(yīng)安裝在被測(cè)物承載單元或/和檢測(cè)承載單元上。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述位移測(cè)量單元還包括第三位移測(cè)量單元，所述第三位移測(cè)量單元用于測(cè)量所述被測(cè)物承載單元和第三安裝框架在X方向的相對(duì)偏移量。

11.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述第一安裝框架和第三安裝框架的底部分別設(shè)有第一減震單元和第二減震單元。

12.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分體式精密測(cè)量裝置，其特征在于，所述分體式精密測(cè)量裝置還包括六組位移傳感器，用于測(cè)量所述第一安裝框架和第三安裝框架在X、Y、Z、Rx、Ry和Rz方向的相對(duì)位移；其中，Z方向?yàn)榇怪庇赬和Y方向的豎直方向。