[發明專利]硬質合金表面涂層去除方法和設備

在審

• 申請號: 201810697620.3
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN108754520A
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 王輝;趙海波;梁紅櫻
• 申請（專利權）人: 四川大學
• 主分類號: C23G5/00
• 分類號: C23G5/00
• 代理公司: 成都虹橋專利事務所(普通合伙) 51124
• 代理人: 張競

1.硬質合金表面涂層去除方法，其特征在于：用Ar離子轟擊硬質合金表面的涂層，使硬質合金表面涂層的原子擺脫涂層本體束縛，從而讓涂層逐漸剝離。

2.如權利要求1所述的硬質合金表面涂層去除方法，其特征在于：包括以下幾個步驟：

A、將待去除涂層的硬質合金刀具置于真空室(1)中，然后對真空室(1)抽真空；

B、往真空室(1)中送入Ar氣；

C、對待去除涂層的硬質合金刀具表面涂層進行Ar離子的轟擊；

D、對待去除涂層的硬質合金刀具冷卻處理。

3.如權利要求2所述的硬質合金表面涂層去除方法，其特征在于：在通入Ar氣后，對真空室(1)進行預加熱。

4.如權利要求3所述的硬質合金表面涂層去除方法，其特征在于：預加熱溫度為300～400℃，時間為50分鐘至70分鐘。

5.如權利要求2所述的硬質合金表面涂層去除方法，其特征在于：A步驟中抽真空后使真空室(1)內壓強小于5×10^-2Pa。

6.如權利要求2所述的硬質合金表面涂層去除方法，其特征在于：利用氣體離子源裝置產生氣體離子。

7.如權利要求6所述的硬質合金表面涂層去除方法，其特征在于：利用磁場和電場控制轟擊表面涂層的氣體離子的運動和能量。

8.如權利要求7所述的硬質合金表面涂層去除方法，其特征在于：在B步驟中送入40～60sccm的Ar氣。

9.如權利要求8所述的硬質合金表面涂層去除方法，其特征在于：在C步驟中，使離子源熱絲電流170～230A；離子源磁場電流7～10A；弧電源電流100～120A；氣體壓強2.0×10^-1～2.4×10^-1Pa，Ar氣流量40～60sccm，開啟偏壓電源，逐漸加電壓至直流0～100V、脈沖0～300V。

10.用于權利要求1所述的硬質合金表面涂層去除方法的硬質合金表面涂層去除設備，其特征在于：包括供氣系統、真空室(1)、真空系統、熱絲離子源(2)、輔助陽極(3)、電場發生裝置、工件架(4)、加熱裝置和驅動機構，所述供氣系統與真空室(1)的氣體入口連通，所述熱絲離子源(2)的燈絲和輔助陽極(3)位于真空室(1)內，所述真空系統與真空室(1)連通，所述驅動機構和工件架(4)傳動連接，所述加熱裝置包括加熱電源和加熱管(6)，所述加熱電源與加熱管(6)電連接，所述加熱管位于工件架(4)遠離熱絲離子源(2)的一側。