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[發明專利]一種二硒化鈮薄膜的制備方法在審

專利信息
申請號: 201810697016.0 申請日: 2018-06-29
公開(公告)號: CN109137030A 公開(公告)日: 2019-01-04
發明(設計)人: 楊海峰;啟迪;周毅平;付文文;李盈盈;胡曉柯;張偉英;趙建果;范一丹 申請(專利權)人: 洛陽師范學院
主分類號: C25D9/08 分類號: C25D9/08
代理公司: 杭州千克知識產權代理有限公司 33246 代理人: 單燕君
地址: 471022 *** 國省代碼: 河南;41
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 二硒化鈮 制備 薄膜 薄膜制備技術 一步法制備 電化學法 反應條件 施加電壓 電沉積 晶形 取向 沉積
【權利要求書】:

1.一種二硒化鈮薄膜的制備方法,其特征在于,采用電化學法在ITO基片上沉積而成;施加電壓為30-80V。

2.根據權利要求1所述的一種二硒化鈮薄膜的制備方法,其特征在于,具體包括以下步驟:

(1)將50mg的NbSe2粉末于離心管中,加入乙醇,并且攪拌使粉末均勻分散;

(2)將分散液超聲處理20min以上;

(3)將離心管置于離心機中離心處理7min以上;

(4)在離心后的上清液中加入20mg碘;

(5)然后再超聲15min;

(6)然后將該超聲后的上清液放入45-53℃的恒溫水浴中;

(7)采用丙酮和去離子水依次清洗ITO基片至少兩次,將超聲后的液體作為電解液,將ITO基片連接直流穩壓電源負極,金屬鉑片連直流穩壓電源正極,在30V-80V電壓下鍍膜;沉積時間為10-30min;

(8)鍍膜完成后,去離子水清洗ITO基片,并放入干燥箱中50-80℃下進行干燥。

3.根據權利要求2所述的一種二硒化鈮薄膜的制備方法,其特征在于,步驟(1)中加入穩定劑,穩定劑為丙酮或聚乙烯吡咯烷酮。

4.根據權利要求3所述的一種二硒化鈮薄膜的制備方法,其特征在于,穩定劑的加入量為乙醇的3%-5%。

5.根據權利要求2所述的一種二硒化鈮薄膜的制備方法,其特征在于,NbSe2粉末粒徑小于1000目。

6.根據權利要求2所述的一種二硒化鈮薄膜的制備方法,其特征在于,步驟(1)中加入5-20mm的乙醇。

7.根據權利要求2所述的一種二硒化鈮薄膜的制備方法,其特征在于,調整步驟(7)中的pH為8-9。

8.根據權利要求2所述的一種二硒化鈮薄膜的制備方法,其特征在于,步驟(7)的電壓為50-55V。

9.根據權利要求2所述的一種二硒化鈮薄膜的制備方法,其特征在于,步驟(4)中加入碘化鉀5mg。

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