[發(fā)明專利]介觀太陽能電池電子傳輸層的形成方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810696317.1
• 申請(qǐng)日: 2018-06-29
• 公開（公告）號(hào): CN110660917B
• 公開（公告）日: 2022-11-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓宏偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖北萬度光能有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L51/42
• 分類號(hào): H01L51/42;H01L51/48
• 代理公司: 北京悅成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11527
• 代理人: 樊耀峰

1.一種介觀太陽能電池的電子傳輸層的形成方法，包括如下步驟：

(1)將基板的電極面進(jìn)行紫外臭氧處理，得到承印基板；所述紫外臭氧處理為紫外臭氧清洗處理，紫外光的波長(zhǎng)為185～265nm，臭氧濃度為30～45vol％，清洗頻率為45～70Hz，清洗時(shí)間為8～30min；

(2)通過絲網(wǎng)印刷技術(shù)將介孔二氧化鈦漿料沉積至所述承印基板上，形成介孔二氧化鈦濕膜；所述介孔二氧化鈦漿料的粘度為320～470mPa·s，固含量為22～25wt％；

其中，所述絲網(wǎng)印刷技術(shù)采用的網(wǎng)版的目數(shù)在150～250目，張力為22～30N/cm，開口率為36～47％；所述網(wǎng)版與承印基板的距離為2～3.5mm；采用的印刷刮刀包括刮刀架和安裝在刮刀架上的膠條，所述膠條的肖氏硬度為70～80肖爾，且膠條超出刮刀架的高度為2.5～3cm；膠條與承印基板的角度為45～70度；刮刀印刷速度為100～300mm/s，刮刀印刷壓力為5～8kgf；

(3)將帶有所述介孔二氧化鈦濕膜的基板置于惰性氣體氣氛中靜置，烘干；然后置于空氣或氧氣氣氛中燒結(jié)，得到介孔二氧化鈦電子傳輸層；

所述惰性氣體的壓力為120～150kPa，相對(duì)濕度為5～10％，且0.5μm以上的粒子的濃度低于1000μg/m³。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形成方法，其特征在于，步驟(1)中，所述基板的材質(zhì)選自玻璃、單晶硅、聚甲基丙烯酸甲酯中的任一種；且所述基板的長(zhǎng)度為100～360mm，寬度為100～300mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的形成方法，其特征在于，所述基板的長(zhǎng)度為200～360mm，寬度為180～300mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的形成方法，其特征在于，步驟(1)中，所述基板的電極面的表面均方根粗糙度為10～20nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的形成方法，其特征在于，步驟(1)中，所述的紫外臭氧處理為紫外臭氧清洗處理，紫外光的波長(zhǎng)為185nm和/或254nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形成方法，其特征在于，步驟(2)中，所述介孔二氧化鈦漿料由二氧化鈦均勻分散在分散劑中得到，所述二氧化鈦的粒徑為30～45納米，比表面積為62.17～75.38m²/g；所述分散劑為松油醇，乙醇和正丁醇中的任一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的形成方法，其特征在于，步驟(2)中，所述網(wǎng)版的材質(zhì)為鋼絲復(fù)合網(wǎng)或聚酯網(wǎng)，網(wǎng)版目數(shù)為150～200目；所述網(wǎng)版與承印基板的距離為2～3mm；膠條的材質(zhì)為聚氨酯，膠條的肖氏硬度為70～74肖爾；膠條和承印基板的角度為45～60度；刮刀印刷速度為100～120mm/s，刮刀印刷壓力為5～7kgf。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的形成方法，其特征在于，步驟(2)中，所述網(wǎng)版的材質(zhì)為不銹鋼網(wǎng)，網(wǎng)版目數(shù)為200～250目；所述網(wǎng)版與承印基板的距離為3～3.5mm；膠條的材質(zhì)為硬橡膠，膠條的肖氏硬度75～80肖爾；膠條和承印基板的角度為65～70度；刮刀印刷速度為150～300mm/s，刮刀印刷壓力為6～8kgf。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形成方法，其特征在于，步驟(3)中，所述靜置的方式為水平靜置，靜置的時(shí)間為30～60min；所述烘干的溫度為60～75℃；所述燒結(jié)的溫度為480～550℃，燒結(jié)的時(shí)間為100～150min。