[發明專利]蒸鍍掩模用基材、蒸鍍掩模用基材的制造方法、蒸鍍掩模的制造方法及顯示裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201810694337.5
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN109468583B
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發明（設計）人: 新納干大;寺田玲爾;西辻清明
• 申請（專利權）人: 凸版印刷株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H05B33/10;H01L51/56
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 白麗

1.一種蒸鍍掩模用基材，其是通過蝕刻形成多個孔而用于制造蒸鍍掩模的具有帶狀的金屬板，其中，

所述金屬板的寬度方向的各位置上的沿著所述金屬板的長度方向的形狀相互間不同，各形狀具有在所述金屬板的長度方向上反復的波浪，

連接所述波浪中的一個谷至另一個谷的直線的長度為波浪的長度，

所述波浪的高度相對于所述波浪的長度的百分率為單位陡峭度，

所述金屬板的寬度方向的各位置上，所述長度方向上包含的全部波浪的單位陡峭度的平均值為陡峭度，

在所述金屬板的寬度方向上，一個端部的陡峭度的最大值和另一個端部的陡峭度的最大值比中央部的陡峭度的最大值小，

所述一個端部的陡峭度的最大值、所述另一個端部的陡峭度的最大值和所述中央部的陡峭度的最大值為0.2％以下。

2.一種蒸鍍掩模用基材的制造方法，所述蒸鍍掩模用基材是通過蝕刻形成多個孔而用于制造蒸鍍掩模的具有帶狀的金屬板，

所述制造方法包含對母料進行軋制來獲得所述金屬板，

所述金屬板的寬度方向的各位置上的沿著所述金屬板的長度方向的形狀相互間不同，各形狀具有在所述金屬板的長度方向上反復的波浪，

連接所述波浪中的一個谷至另一個谷的直線的長度為波浪的長度，

所述波浪的高度相對于所述波浪的長度的百分率為單位陡峭度，

所述金屬板的寬度方向的各位置上，所述長度方向上包含的全部波浪的單位陡峭度的平均值為陡峭度，

獲得所述金屬板時，按照下述方式對所述母料進行軋制：

在所述金屬板的寬度方向上，一個端部的陡峭度的最大值和另一個端部的陡峭度的最大值比中央部的陡峭度的最大值小，

所述一個端部的陡峭度的最大值、所述另一個端部的陡峭度的最大值和所述中央部的陡峭度的最大值為0.2％以下。

3.一種蒸鍍掩模的制造方法，其為包含在具有帶狀的金屬板上形成抗蝕劑層、以及通過以所述抗蝕劑層為掩模的蝕刻在所述金屬板上形成多個孔、從而形成掩模部的蒸鍍掩模的制造方法，其中，

所述金屬板的寬度方向的各位置上的沿著所述金屬板的長度方向的形狀相互間不同，各形狀具有在所述金屬板的長度方向上反復的波浪，

連接所述波浪中的一個谷至另一個谷的直線的長度為波浪的長度，

所述波浪的高度相對于所述波浪的長度的百分率為單位陡峭度，

所述金屬板的寬度方向的各位置上，所述長度方向上包含的全部波浪的單位陡峭度的平均值為陡峭度，

在所述金屬板的寬度方向上，一個端部的陡峭度的最大值和另一個端部的陡峭度的最大值比中央部的陡峭度的最大值小，

所述一個端部的陡峭度的最大值、所述另一個端部的陡峭度的最大值和所述中央部的陡峭度的最大值為0.2％以下。

4.根據權利要求3所述的蒸鍍掩模的制造方法，其中，

形成所述掩模部是在單一的所述金屬板上形成多個所述掩模部，

所述各掩模部分別具備具有所述多個孔的一個側面，

所述制造方法進一步包含：將所述各掩模部的側面與一個框部按照在每個所述掩模部中、所述一個框部將所述多個孔包圍的方式進行相互接合。