[發明專利]用于形成圖案的設備

有效

• 申請號: 201810693050.0
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN109216231B
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發明（設計）人: 張宰榮;薛捧浩
• 申請（專利權）人: 燦美工程股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

本發明提供一種用于形成圖案的設備。用于形成圖案的設備包含：支撐單元，加工對象安放于支撐單元上；噴嘴單元，安置于支撐單元上以排出溶液；塊夾具，安置于支撐單元上且具有安裝孔以便安裝噴嘴單元；以及固定構件，將噴嘴單元限定在安裝孔內。因此，當替換噴嘴時，噴嘴在位置可重復性上可得到改進。

技術領域

本公開涉及一種用于形成圖案的設備，且更確切地說涉及一種用于形成圖案的當替換噴嘴時能夠改進位置可重復性的用于形成圖案的設備。

背景技術

用于制造半導體、平板顯示器(flat panel displays；FPD)、印刷電路板(printedcircuit boards；PCB)等等的各種設施包含修復裝置，所述修復裝置能夠通過使用電流體動力學(electrohydrodynamics；EHD)以細小液滴形式將導電油墨排出到襯底上來形成若干微米(μm)寬度的線形圖案。

由于上文所描述的修復裝置的EHD噴嘴(下文稱作“噴嘴單元”)具有消耗性，因此在執行預定次數的修復過程后，所用噴嘴單元必須替換為新的噴嘴單元。

根據現有技術的修復裝置并不具有當替換噴嘴單元時保持噴嘴單元的位置可重復性的結構。因此，限制在于所替換新的噴嘴單元的噴嘴的端部從修復裝置的光學部分的觀測區域偏離。另外，在替換噴嘴單元后，光學單元的視覺區域難以與噴嘴單元的噴嘴的端部匹配。

本公開的背景技術公開于以下專利文獻中。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

(專利文獻1)KR10-2016-0109631 A

發明內容

本公開提供一種用于形成圖案的設備，所述用于形成圖案的設備能夠在替換噴嘴時改進位置可重復性。

根據示例性實施例，一種用于形成圖案的設備，所述用于形成圖案的設備排出溶液以形成圖案，所述用于形成圖案的設備包含：支撐單元，加工對象安放在支撐單元上；噴嘴單元，安置于支撐單元上以排出溶液；塊夾具，安置于支撐單元上且具有安裝孔以便安裝噴嘴單元；以及固定構件，配置成將噴嘴單元限定在安裝孔內。

在根據本發明的實施例的用于形成圖案的設備中，固定構件可安置于噴嘴單元與安裝孔彼此面對的表面中的至少一個表面上。

在根據本發明的實施例的用于形成圖案的設備中，固定構件可包含鉤狀構件，所述鉤狀構件安置成環繞噴嘴單元的外圓周表面的至少一部分或安裝孔的內壁的至少一部分，且鉤狀構件可與安裝孔的內壁或噴嘴單元的外圓周表面接觸以將噴嘴單元的位置限定在安裝孔內。

在根據本發明的實施例的用于形成圖案的設備中，固定構件可包含鉤槽，使所述鉤槽凹進以環繞安裝孔的內壁的至少一部分或噴嘴單元的外圓周表面的至少一部分以使得可插入鉤狀構件。

在根據本發明的實施例的用于形成圖案的設備中，固定構件可包含：耦合槽，從噴嘴單元的外圓周表面的至少一個位置凹進；以及耦合突起，安裝于安裝孔的內壁的至少一個位置上且彈性地支撐以使得可將耦合突起插入到耦合槽中。

在根據本發明的實施例的用于形成圖案的設備中，耦合突起可在與安置有噴嘴單元的方向交叉的豎直方向和水平方向上相對于噴嘴單元的中心軸間隔開以朝向噴嘴單元突出。

在根據本發明的實施例的用于形成圖案的設備中，塊夾具可包含多個塊，所述多個塊彼此可拆卸地耦合以使得其一側可相對于安裝孔打開，且多個塊中的相對于安裝孔安置在一側處的一個塊可可旋轉地安裝于另一側處的另一塊上。